판매용 중고 LAM RESEARCH 490 #9268075

LAM RESEARCH 490은 생산 및 연구를 위해 설계된 플라즈마 에치/아스퍼 장비입니다. 고급 프로세스 제어 및 단단한 챔버 균일성으로 높은 처리량을 제공합니다. 이 시스템은 산화물, 질화물 등 단단하고 부드러운 재료의 고성능 에치/애스퍼 (etch/asper) 가 가능합니다. 에칭과 아스퍼링은 높은 수준의 정확도로 수행됩니다. 약실은 단단한 균일성을 가지고 있으며, 강력하고 사용하기 쉽습니다. 이 장치에는 플라즈마 진단 장치 (Plasma Diagnostics) 와 정밀 에칭 및 아스퍼링을위한 고도로 정교한 공정 제어 장치 (Process Control Machine) 가 장착되어 있습니다. 원자로 는 "플라즈마 '원 과 각기 다른 물질 의" 에칭' 이나 "아스퍼링 '에 맞춘 특수 전극 배열 을 갖추고 있다. 혈장 은 "염소 ', 육불화 황, 산소 와 같은" 가스' 의 혼합물 에 의해 생성 되는데, 그것 은 약실 에 주입 된다. 이 약실 은 보통 원하는 공정 "가스 '로 가득 차 있으며, 최적 의 압력 과 온도 를 유지 하기 위하여" 펌프' 와 "펌프 '를 넣는다. 프로세스를 최적화하기 위해 다양한 프로세스 매개변수를 변경할 수 있습니다. 원하는 에칭 속도 (etching rate) 와 아스퍼링 속도 (asphering rate) 를 얻기 위해 챔버의 압력, 온도 및 DC 바이어스를 조정할 수 있습니다. 또한 매개변수를 조정하여 제품의 에칭 품질 (etching quality) 과 프로파일을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 또한 챔버 (chamber) 를 원하는 설정으로 미리 설정하여 운영 주기 동안 프로세스 제어를 완료할 수 있습니다. 이 도구에는 가스 탐지기, 압력 조절기 등의 안전 기능도 있습니다. "가스 '탐지기 는 위험 한" 가스' 가 탐지 될 때 에셋 '을 차단 시키고 압력 조절기 는 필요 한 범위 내 에 "챔버' 의 압력 과 온도 를 유지 하도록 한다. 490은 고급 에치 및 애스퍼 모델로, 단단하고 부드러운 재료를 위해 안정적이고 정밀한 에칭/애스퍼링을 제공합니다. 첨단 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 와 엄격한 챔버 균일성 (Tight Chamber Unifority) 을 결합하면 생산 및 연구 기반 프로세스를 모두 효과적으로 수행할 수 있습니다.