판매용 중고 LAM RESEARCH 490 #9244750

LAM RESEARCH 490은 최첨단 에처/애셔 장비입니다. 가장 까다로운 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있는 다용도, 고성능 툴입니다. 이 시스템은 고효율, 최적 수준의 생산성, 높은 처리량을 제공하는 첨단 기술로 설계되었습니다. 이 장치는 이온 보조 에치, 플라즈마 에치, 입자 빔 에치와 같은 다양한 고급 에칭 프로세스를 사용합니다. "에칭 '과정 을 통해 기계 는 물질 표면 을 신속 하고 정확 하게 조작 하여, 복잡 한" 패턴' 과 "디자인 '을 기판 에 에칭 할 수 있게 된다. 이 도구는 또한 고품질 스텝 커버리지 (step coverage) 를 생산할 수 있으며, 이는 연구 및 개발에서 장치 프로세스를 발전시키는 데 이상적입니다. 에셋은 커스터마이징 가능한 챔버 (chamber) 크기로, 프로세스 요구 사항에 가장 적합한 에치 (etch) 영역과 깊이를 선택할 수 있습니다. 또한 E-Gas 시리즈 (E-Gas Series) 와 같은 고급 프로세스 모니터링 기능을 통해 사용자가 에칭 프로세스와 에치 속도를 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스가 의도대로 정확히 수행되므로 고급 (advanced) 디바이스의 수율이 높아집니다. 이 모델에는 다양한 프로세스 레시피 (recipe) 가 포함되어 있어, 사용자는 프로세스를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 레시피와 함께, 다른 에치 프로세스에 대한 레시피 지원도 포함됩니다. 이를 통해 장비는 전기 증착 (electro-deposition) 및 웨이퍼 결합 (wafer bonding) 과 같은 다른 프로덕션 프로세스와 완벽하게 구성되고 상호 호환됩니다. 이 시스템은 프로세스 기능 외에도 자동 챔버 클리닝 (Automatic Chamber Cleaning) 및 자동 유지 관리 (Automated Maintenance) 기능을 제공하여 최대 단위의 가동 시간과 신뢰성을 보장합니다. 신뢰성 있는 성능과 견고성 (ruggedness) 에 대한 검증된 기록 을 통해, 490은 모든 etch 및 ashers 프로세스에 적합한 선택입니다.