판매용 중고 LAM RESEARCH 490 #9226288

LAM RESEARCH 490은 반도체 산업에서 사용되는 최첨단 에처/애셔입니다. 이 제품은 집적 회로 제작의 일부인 레이어를 에치 (etch) 및 애셔 (asher) 할 수 있는 기술을 제공합니다. 이 기계 는 습기 와 건기 로 작용 하도록 설계 되었으며, 여러 가지 형태 의 기질 들 을 처리 할 수 있다. 그렇다. 중요한 반도체 장치의 완전 자동화, 빠르고 정확한 에치/애셔입니다. 490은 한 번에 최대 5 개의 공정 챔버를 작동 할 수 있습니다. 모든 공정 챔버에는 유해 물질의 배출량을 줄이는 통합 된 PFPE 섭취 시스템이 있습니다. 또한 강력한 웨이퍼로 일관성을 유지하기위한 자동 정렬 시스템도 포함되어 있습니다. 각 챔버는 뛰어난 에치 균일성과 에치 레이트 균일성을 특징으로합니다. 여기에는 광범위한 조건에서 안정적이고 균일 한 에칭 및 재싱을위한 입증 된 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스가 포함됩니다. LAM RESEARCH 490에는 유연한 레시피 옵션이 있습니다. 공정 레시피에 맞게 개별적으로 튜닝 할 수있는 최대 온도 (700 ° C) 및 다중 가스 흐름 (multiple gas flow) 에 도달 할 수 있습니다. 에치 레이트는 MFC (Mass Flow Controller) 에 의해 조정되어 기판 표면 마무리를 세밀하게 조정합니다. 재싱을 위해, UV 플라즈마 기반 애싱 기술을 사용하여 바람직한 표면 마무리를 만들 수있다. 490은 자동 패턴 인식 및 결함 감지와 같은 고급 진단을 제공합니다. 또한 사전 에칭 또는 에칭 된 표면 거친 제어 및 다중 레이어 에치 응용 프로그램을 제공합니다. 에치 공정 (etch process) 에는 기판 손실률을 줄이는 균일 성 증착 제어도 포함됩니다. LAM RESEARCH 490은 또한 프로세스 효율성 및 수율을 향상시키기 위해 단일 반복 프로세스를 제공합니다. 전반적으로, 490은 매우 다재다능하고 신뢰할 수있는 etcher/asher로, 고급 반도체 장치 제조에 일관된 결과를 제공합니다. 첨단 기능과 강력한 기능으로, 가장 복잡한 어플리케이션의 요구를 충족시키기 위한 완벽한 에처 (etcher )/애셔 (asher) 입니다.