판매용 중고 LAM RESEARCH 490 #9226287

LAM RESEARCH 490 (etcher/asher라고도 함) 은 반도체 공정에서 소재를 에치 (etch) 하거나 "제거" 하는 데 사용되는 매우 정교하고 정확한 장비입니다. 반도체 제조 기계의 에치 챔버에 사용됩니다. 이 장비에는 습식 (wet-etch) 알리카보네이트 에치 화학 (alicarbonate etch chemistry) 이 장착되어 있으며, 이는 매우 높은 온도에서 반도체 표면에서 물질의 활성 층을 에치하고 제거하는 데 사용됩니다. 490 은 대부분 의 반도체 "칩 '을 구성 하는 반도체" 웨이퍼' 에 구체적 으로 고안 된 기능 들 을 에칭 하도록 설계 되었다. 이 피쳐를 정확한 너비, 깊이, 각도로 에치하기 위해 다양한 기능에 의존합니다. 이 시스템에는 강력한 정밀 컴퓨터 제어 장치인 LAM (Least Action Mode) (최소 동작 모드) 기술이 포함되어 있어 에칭 프로세스를 최적으로 제어할 수 있습니다. 이 기계는 또한 회전 음극 차폐 및 자동 챔버 클리닝, 특수 가스 흐름 컨트롤러 및 터빈 펌프 시스템, 온도 조절 환경을 갖추고 있습니다. 이러한 기능의 조합을 통해 반도체 구조의 정확한 에칭 (etching) 과 여러 배치 간의 일반 균일성 (unifority) 이 가능합니다. LAM RESEARCH 490은 에칭 프로세스의 정확성과 정밀도를 보장하기 위해 나노미터 수준의 정확도로 최대 9 (9) 의 와퍼 위치를 가져올 수있는 정확한 측면 제어 도구를 갖추고 있습니다. 에치 레이트 (etch rate) 가 높고, 프로세스 제어가 정확하며, 분당 25 개의 웨이퍼로 다량의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 에셋은 또한 사용자가 실시간 프로세스 데이터를 얻을 수 있도록 in-situ 모니터를 제공합니다. 이 모델은 사용하기 쉽고, 작동하기 쉽고, 이해하기 쉬운 운영 설명서를 사용할 수 있습니다. 반도체 (반도체) 업계의 소자 생산을 위한 안정적이고 정밀한 에칭 머신을 제공하는 490.