판매용 중고 LAM RESEARCH 490 #9226284

LAM RESEARCH 490 (LAM RESEARCH 490) 은 반도체 생산 공정에서 고정밀 패턴 전송 및 에칭 기능을 제공하도록 설계된 습식/애셔입니다. 빠른 주기 (fast cycle) 시간과 반복 가능한 프로세스 결과를 모두 제공하며, 칩 설계자는 높은 신뢰성을 갖춘 작고 복잡한 집적 회로를 만들 수 있습니다. 490에는 미니 챔버에 4 인치 웨이퍼 또는 최대 8 인치 웨이퍼를 수용 할 수있는 대형 액체 저항과 에칭 챔버가 있습니다. 자동 LVM (Auto-LVM) 및 RAM (Resistance Material Management Equipment) 을 통해 각 레이어의 정확한 에칭을 보장합니다. 최상위 로드 락에는 최대 10 개의 공정 레시피와 칩 생산 환경을위한 깨끗한 에어 커튼 (air curtain) 이 포함됩니다. 또한, 최적의 패턴 전송, 정확한 균일 에칭 및 결함 감소를 위해 엄격한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 시스템에는 웨이퍼 처리 로봇, 정밀 강화 벤츄리 기반 에치 소스 및 층류 유동 가스 분포 장치 (laminar flow gas distribution unit) 가 포함되어 있어 일관된 초점과 에치 속도 균일성을 보장합니다. 또한 빠른 전송을 위해 자동 물 린스 (Rinse) 와 깨끗한 하중 잠금 장치 (loadlock) 를 포함하고 처리량을 향상시키기 위해 더 빠른 평형 시간을 제공하는 가열 하중 잠금을 포함합니다. LAM RESEARCH 490은 고급 소프트웨어 컨트롤과 사용자 정의 설계 경보 표시가 있는 사용자 친화적 인 그래픽 연산자 인터페이스 (Graphical Operator Interface) 를 갖추고 있습니다. 사용자는 오프라인 최적화 기능을 갖춘 자동 공구 검증 머신 (Automated Tool Qualification Machine) 과 주기 시간과 결함 속도를 모니터링할 수 있는 현장 OEE 모니터 (In-Situ OEE Monitor) 를 제공합니다. 또한 광범위한 프로세스 데이터베이스를 통해 빠르고 반복 가능한 작업을 수행할 수 있습니다. 490은 고정밀도, 반복 가능한 결과를 위해 설계된 올인원 에치/에치 애셔 도구입니다. 이 제품은 소규모/대규모 반도체 제작 프로세스에서 모두 사용하기에 적합하며, 다양한 프로세스 요구 사항에 적합한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다 (영문).