판매용 중고 LAM RESEARCH 4600 #293807556

LAM RESEARCH 4600은 다양한 기판에서 전도성 및 비 전도성 층을 에칭, 애싱 및 패턴화하도록 설계된 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 장비입니다. 이 제품은 생산 준비 (production-ready) 등방성 (isotropic) 에치 기능을 갖추고 있어 업계 표준을 충족하거나 초과하는 프로세스 처리량 및 웨이퍼 균일성을 제공합니다. 4600 시스템에는 에칭 및 애싱 응용 프로그램을위한 13.56MHz 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스가 있습니다. 낮은 RF 생성기 전력을 통해 얕은 접합 (shallow junctions) 과 같은 중요한 프로세스 계층에서 에치 제어를 정확하게 할 수 있습니다. 챔버 크기는 최대 25 "x 50" 의 대형 카세트를 허용합니다. 또한 알루미나 (alumina) 와 유전체 (dielectric) 하드 마스크 모두에서 에칭 할 수있는 이중 주파수 생성기를 제공하여 다중 재료 에치 레시피에서 추가 수준의 최적화를 제공합니다. 또한 LAM RESEARCH 4600 은 수동 (manual) 및 자동화 (automation) 기능을 모두 제공하여 운영 요구에 가장 생산적인 운영을 선택할 수 있습니다. 레시피 설정 및 웨이퍼 로딩/언로딩을위한 통합 로봇 암이 특징입니다. 이 장치는 또한 실시간 ARO (Auto Recipe Optimization) 기계를 사용하여 양방향 매개 변수 최적화를 수행하고 처리 중에 현장 조정을 수행합니다. 4600 은 정확한 레시피를 통해 빠른 처리 시간을 제공하며, 높은 처리량과 최적의 결과를 제공합니다. 이를 통해 고객은 운영자의 개입 최소화로 비용 절감, 처리량 증가를 달성할 수 있습니다. 이 툴에는 고급 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 진단 (diagnostics) 기능도 포함되어 있어 고객이 프로세스를 문제를 해결하고 최적화할 수 있습니다. 이 고급 자산 (Advanced Asset) 은 탁월한 프로세스 유연성과 제어 기능을 제공하여, 평생 동안 안정적이고 성능이 뛰어난 제품을 생산할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4600은 다운타임을 최소화하면서 정밀 에칭 (etching) 과 높은 수율을 요구하는 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.