판매용 중고 LAM RESEARCH 4600 #293778302

LAM RESEARCH 4600은 etcher/asher입니다. 정밀도, 정확도로 웨이퍼, 기판, 표면을 빠르게 에치하도록 설계되었습니다. 습식 에칭, 건식 에칭, 반응성 이온 에칭, 플라즈마 에칭 등을 포함하여이 결과를 달성하기 위해 다양한 기술을 사용합니다. 첨단 기술로 4600 (4600) 은 등방성 에치를 제공하여 표면을 가로 질러 짝수 속도로 재료를 에치 할 수 있습니다. 회로, 트랜지스터 및 기타 작고 복잡한 디자인을 만드는 데 이상적입니다. 이 에처 (etcher) 는 또한 광범위한 기판 재료와 두께 내에서 작업하면서 고르게, 최고 품질의 결과를 생성하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 LAM의 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control System) 이 장착되어 각 에치 프로세스에 대한 뛰어난 반복성을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 카세트-카세트 (cassette-to-cassette) 재료 처리 옵션이 장착되어 있으며, 안전하고 정확한 에칭을 보장하는 내장형 로드 모니터가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 개방형 아키텍처 소프트웨어 플랫폼 (open-architecture software platform) 을 통해 다양한 맞춤형 사용자 프로그램을 호스팅할 수 있는 유연성을 제공합니다. 또한 이 툴을 사용하여 고객의 레시피와 차트를 처리하여 특정 요구 사항을 충족시킬 수 있으며, 다른 에칭 시스템과 LAM RESEARCH 4600 을 손쉽게 통합할 수 있습니다 (영문). 기능을 위해, 이 etcher는 1 개, 2 개 또는 3 개의 챔버 및 이전 시스템의 기술적 단점을 제거하기 위해 교환 가능한 챔버 구성으로 구성 될 수 있습니다. 전반적으로, 이 장치는 마이크로 일렉트로닉스 생산, 사진 해설학 등과 같은 다양한 산업 에칭 응용 분야에 이상적입니다.