판매용 중고 LAM RESEARCH 4528i #9167075

LAM RESEARCH 4528i는 얇은 필름을 웨이퍼 표면에 정확하게 에칭 및 증착하도록 설계된 에처/애셔입니다. 안정적인 대류 기반 식각과 결합 된 정밀 필름 증착 프로세스는 안정적인 처리 결과를 보장합니다. 이 장비는 간단하고 효율적인 샘플 로드, 언로드, 처리 기능을 제공하여 다양한 고출력 어플리케이션에 적합합니다. LAM 4528i 는 낮은 TCO (총소유비용) 로 탁월한 처리 속도와 제품 품질을 제공합니다. 정전기 척 로딩/언로드 기술, 진공 필름 증착실 및 내장 플라즈마 애셔를 사용합니다. 이 시스템에는 자동 웨이퍼 찾기 장치, 통합 웨이퍼 척 (wafer chuck) 환경 제어 장치 및 통합 스퍼터링 하드웨어가 장착되어 있습니다. 압력 을 측정 하여 산소 와 질소 "가스 '농도 를 정확 히 조절 하는 능력 은" 가스' 전용품 과 질량 의 흐름 "컨트롤러 '를 통해 집적 된다. LAM RESEARCH 4528i는 유전체, 폴리머 및 다양한 금속을 포함한 광범위한 재료와 함께 사용하기 위해 만들어졌습니다. 공구에는 조정 가능한 소스, 온도, 회전 속도가 있으며, 이를 통해 더 다양한 기능을 사용할 수 있습니다. 이 에셋에는 반응성 가스 (reactive gase) 와 추가 재료 소스를 처리 챔버 (processing chamber) 에 펌핑 할 수 있도록 추가 포트가 장착되어 있습니다. 4528i는 혁신적인 웨이퍼 에처/애셔 (wafer etcher/asher) 로, 높은 처리량 생산 및 연구 실험실의 요구를 충족시키기 위해 높은 범용성과 정밀도를 제공합니다. 이 모델은 사용 및 유지 관리가 간편하여 일관되게 안정적인 처리 결과를 보장합니다. LAM RESEARCH 4528i (LAM RESEARCH 4528i) 는 첨단 기술 및 운영 편의성에 대한 노력을 바탕으로 다양한 박막 증착 및 에칭 어플리케이션을 위한 매력적인 옵션입니다.