판매용 중고 LAM RESEARCH 4526 #9249911

LAM RESEARCH 4526 Asher/Etch Equipment는 다양한 기판에 균일 한 처리 범위를 제공하도록 설계된 안정적이고 효율적인 asher/etch 시스템입니다. 이 장치는 중량에서 대용량 (high-volume) 생산 실행을 위한 탁월한 선택이며, 다양한 기질을 처리하고, 광범위한 공정 화학 물질을 허용합니다. 이 기계에는 로봇 장착 RAIE (remote atmospheric-controlled) 에치 챔버와 금속 및 유전체의 증착을위한 IC 금속 화실이 있습니다. 이 로봇은 상부 (upper) 와 하부 (lower arm) 로 구성된 4 개의 독립적 인 로봇 암을 표현하여 공구가 복잡한 서피스와 부드러운 서피스를 모두 처리 할 수 있습니다. 4526 에는 가장 향상된 Level IV 프로세스 컨트롤러 (Process Controller) 기술이 탑재되어 있어 처리 속도가 빠르며 수동 조정이 필요 없습니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 (touch-screen) 인터페이스를 통해 모든 프로세스를 실시간으로 볼 수 있으며, 프로세스 레시피 및 템플릿 라이브러리 (Library of process recipe and template) 를 통해 높은 수준의 프로세스 반복성과 제어를 수행할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4526은 또한 물리적 안전 키, 온보드 안전 레이저 그리드, 불일치 방지, 매장 방지 보호 기능과 같은 고급 안전 기능을 제공합니다. 또한, 자산에는 인라인 (In-Line) 검사 및 상세한 프로세스 모니터링 기능이 포함되어 있어 최고의 요구 사항을 충족하는 운영 실행이 가능합니다. 4526 모델은 반응성 에칭, 연마, 디패싱, 어닐링 및 스핀 온/격리 클리닝을 포함한 광범위한 프로세스 기능을 자랑합니다. 그것은 +/-1 미크론 정확도의 고정밀 능력을 가지고 있으며, 작은 반도체 성분의 정확한 트리밍 및 형성을 가능하게한다. 또한, 장비의 고진공 밀봉 식각 환경은 균일 한 프로파일과 가장 높은 공정 수율을 보장합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 4526 Asher/Etch System은 중간에서 대용량 생산 실행을 위한 효율적이고 안정적인 솔루션입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 높은 수준의 프로세스 제어를 통해 다양한 기판 및 우수한 프로세스 수율에 걸쳐 균일한 처리 범위를 확보할 수 있습니다.