판매용 중고 LAM RESEARCH 4520i #9188609

LAM RESEARCH 4520i Etcher/Asher는 와퍼 에칭 및 웨이퍼 애싱을위한 최첨단 통합 기계입니다. 이 시스템은 사용자 정의가 용이하며 다양한 응용 프로그램에 대한 최적의 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 결과를 만들 수 있습니다. 4520i는 III-V, 실리콘 및 MEMS 재료를 포함한 복잡한 웨이퍼 구조의 고정밀 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 설계되었으며, 뛰어난 정확성과 공정 반복성을 갖습니다. 특히 사이클 시간 (cycle time) 을 줄이고 완제품 수율을 늘리도록 설계되었습니다. 이 기계에는 고출력 플라즈마 소스를 사용할 수있는 고급 플라즈마 전달 시스템 (Advanced Plasma Delivery System) 이 장착되어 최적 에치 및 재 (ash) 결과를 제공합니다. 에칭 프로세스는 각기 다른 에칭 (etching) 요구에 맞게 조정이 가능한 독점 소프트웨어 패키지에 의해 제어됩니다. 이 기계는 또한 고급 자가 클리닝 (self-cleaning) 기능을 자랑하여 반복 가능하고 일관된 결과를 보장 할 수 있습니다. 마지막으로, 기계는 에치 깊이 (etch depth) 를 정확하게 제어하는 독특한 현장 온도 측정 (in-situ temperature measurement) 을 특징으로하며, 에칭 및 애싱 프로세스 동안 모니터링하는 기능도 제공합니다. 간단히 말해서, LAM RESEARCH 4520i (LAM RESEARCH 4520i) 는 복잡한 웨이퍼 구조의 에칭 및 애싱 (ashing) 에 이상적인 솔루션으로, 뛰어난 정확성과 반복성을 가지고 있으며 높은 충실도 결과를 제공합니다.