판매용 중고 LAM RESEARCH 4520 #9243876

LAM RESEARCH 4520 Asher는 균일성과 성능이 높은 제품을 생산하도록 설계된 PVD (Physical Vapor Deposition) 에처입니다. 이 장비는 에칭, 마이크로 제작 및 박막 증착 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 반도체 처리에 필요한 submicron 기능을 위한 비용 효율적인 도구입니다. 4520 Asher 는 에칭 (etching) 과 박막 (thin-film) 증착 프로세스를 신속하게 전환하여 제작 주기 시간을 최적화하는 독특한 기능을 제공합니다. 고급 프로세스 챔버 (process chamber) 설계로 대형 웨이퍼 크기에 대한 빠른 처리 시간과 균일성을 제공합니다. 전체 에치 공정은 완전히 닫힌 루프가 젖고 건조합니다. LAM RESEARCH 4520 Asher (LAM RESEARCH 4520 Asher) 는 이방성 또는 계층 별 증착과 비 제어 에칭을 증착 할 수있는 이중 노즐 시스템을 갖추고 있습니다. 이는 많은 양의 정밀도 (precision) 와 제어 (control) 를 필요로 하는 에칭 프로세스에 특히 유용합니다. 이 장치는 직경이 최대 8 "인 여러 웨이퍼와 단일 런에서 최대 1" 두께를 처리 할 수 있습니다. 4520 Asher는 반복적이고 신뢰할 수있는 결과를 제공하는 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 빠른 프로세스 속도, 광범위한 프로세스 옵션을 통해 원하는 제품을 빠르고 정확하게 에칭 (etch) 할 수 있습니다. 이 기계는 Lateral Field Isolation 및 Gate Cut과 같은 다양한 로우엔드 제품을 가장 복잡한 FEOL 구조까지 처리하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 4520 Asher는 종합적인 레시피 개발 및 모니터링 (Recipe Development and Monitoring) 및 온보드 스캐닝 및 진단 (Scanning and Diagnostic) 기능을 포함한 포괄적인 프로세스 지원을 운영자에게 제공합니다. 또한 3D 이미징 기능과 같은 몇 가지 추가 기능과 자동 이름 지정 (Auto Naming) 및 추적 (Tracking) 기능과 같은 다양한 자동화 기능이 포함되어 있습니다. 결론적으로, 4520 Asher는 강력하고 신뢰할 수있는 에칭 및 박막 증착 도구이며, 광범위한 에칭, 박막 증착, 마이크로 제작 제품 요구사항을 충족시킬 수 있습니다. 이 자산은 반복 가능하고 안정적인 결과를 제공하도록 설계되었으며, 다양한 운영 환경에 적합합니다 (영문).