판매용 중고 LAM RESEARCH 4520 #9145859
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LAM RESEARCH 4520 etcher/asher는 산업용으로 적합한 고급 처리 장비입니다. 단일 프로세스 챔버 (single process chamber) 에서 다양한 재료를 사용하여 에칭, 플라나라이제이션 (planarization) 및 애싱 (ashing) 을 수행할 수 있으므로 생산 처리량이 증가하고 프로세스 유연성이 향상됩니다. 4520의 용량은 24 개의 400mm 웨이퍼 캐리어이며, 화학 및 건조 처리 기능이 모두 장착되어 있습니다. 화학 처리를 위해 사용자는 IPA, KOH 및 TMAH를 포함한 다양한 액체 중에서 선택할 수 있으며, 건식 처리 LAM RESEARCH 4520을 N2 및 O2와 함께 사용할 수 있습니다. 4520은 컴퓨터에서 프로세스 매개변수를 제어 할 수있는 MCS (Modular Control Equipment) 로 제작되었습니다. 이를 통해 고급 프로세스를 최적화하고 수작업 (manual intervention) 의 필요성을 줄일 수 있습니다. LAM RESEARCH 4520에는 직원을 보호하기 위해 설계된 고급 안전 기능도 있습니다. 그것은 챔버의 과압 상황을 방지하는 PLC (Pressure Limited Chamber) 시스템과 챔버의 열 증강을 방지하고 화재 위험을 줄이는 열 브레이크 유닛 (Thermal Break Unit) 을 특징으로합니다. 4520에는 자동 누출 탐지 기계 (Leak Detection Machine) 가 있습니다. 자동 누출 탐지 머신 (Leak Detection Machine) 은 도구의 누수를 감지하기 위해 설계되었습니다. 성능 측면에서 LAM RESEARCH 4520은 20 개 연속 웨이퍼 동안 ± 5% 이내의 광범위한 에칭 속도와 반복 가능성을 제공합니다. 저용량 및 대용량 생산에 적합하며, 직경 범위가 100mm ~ 200mm 인 웨이퍼를 처리하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 MTBF (Long Mean Time Between Failure) 속도를 자랑하며, 이는 연속적이고 중단되지 않은 작업에 이상적입니다. 전체적으로 4520 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 재료를 에칭, 평면 화 및 분해할 수있는 고성능, 산업용 처리 장비입니다. 이 제품은 대용량 생산에 적합하며, 고급 안전 기능은 인력 안전을 보장합니다.
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