판매용 중고 LAM RESEARCH 4520 #9029521

LAM RESEARCH 4520은 최첨단 에처와 애셔입니다. 제조업체가 프로세스를 정확하게 제어할 수 있도록 하는 일련의 고급 에치 (advanced etch) 및 애쉬 (ash) 도구의 일부입니다. 4520은 건조하고 긍정적 인 에칭 장비이며, 이는 물질이 가스 구동 플라즈마 소스에 의해 제거됨을 의미합니다. 이 "에너지 '는 특징, 깊이, 표면 마감 에 대한 정확 한 제어 를 통해, 매우 정확 한, 광범위 한 재료 로 정확 한 특징 을 만들어 낼 수 있다. LAM RESEARCH 4520은 모듈식 설계를 통해 프로세스 유연성이 뛰어납니다. 화학/기계 연마 (CMP), 마스킹/마스킹 해제, 미세 구조 및 빠른 열 처리 (RTP) 를 포함하여 광범위한 에칭 및 애싱 응용 프로그램을 위해 구성 할 수 있습니다. 또한 다양한 기판 모양과 크기를 처리하여 복잡한 장치 (complex device) 의 생산에서 프로세스 균일성을 허용합니다. 4520 은 공정의 시간 (time), 온도 (temper), 압력 (pressure) 등 모든 요소를 정확하게 제어할 수 있는 통합 프로세스 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 즉, 생산 과정에서 높은 수준의 품질을 얻을 수 있고, 결함을 줄이는 데 도움이 됩니다. 이 장치는 또한 다중 구역 He-Ne 레이저 간섭계를 특징으로하며, 이를 통해 기판 위치를 정확하게 측정 할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4520에는 필요한 경우 프로세스를 중지하는 장애 안전 기계 (failsafe machine) 와 같은 고급 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이 도구에는 프로세스 매개변수 및 영역을 검사하는 다양한 진단 기능 (실시간 이미지 처리) 이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 프로세스의 균일성과 반복성을 보장할 수 있습니다. 결론적으로, 4520은 제조업체들에게 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 공정을 정확하게 제어 할 수있는 고급 에처 및 애셔입니다. 모듈식 설계 및 고급 프로세스 제어 (process control) 자산을 통해 유연성이 뛰어나 복잡하고 고품질 장치를 생산할 수 있습니다. 또한 진단 기능 (Diagnostic Capability) 과 안전 기능 (Safety Features) 을 통해 운영 프로세스의 일관된 품질을 보장합니다.