판매용 중고 LAM RESEARCH 4520 XLE #9172983

LAM RESEARCH 4520 XLE은 매우 신뢰할 수있는 asher/etching 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제작, 의료 기기 부품, 자동차 센서, 광학 부품 등의 응용 분야에 적합합니다. 4520 XLE은 유연성과 다양한 프로세스 영역을 포괄하는 기능을 모두 제공합니다. LAM RESEARCH 4520 XLE은 단일 웨이퍼, 중형 배치, 대용량 프로세스 레시피를 지원하는 로우 프로파일, 개방형 아키텍처 설계를 통해 사용자에게 친숙한 경험을 제공합니다. 이 장치는 다중 챔버 (multi-chamber) 작동을 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 ashing, in-situ metrology 및 기타 프로세스를 적극적으로 전환할 수 있습니다. 이 기계는 또한 쉽게 구성 할 수있는 전기 시뮬레이터 플랫폼 (electrical simulator platform) 을 갖추고 있어 효율성이 높고 정확합니다. 4520 XLE은 인라인 습식 공정을 통해 탁월한 생산성을 제공하며, 배치 처리를 위해 카세트당 최대 8 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이 도구는 고유한 통합 스캔 정렬기 (scan-aligner) 자산으로 100% 활용도에 도달할 수 있으며, 이를 통해 에칭 서피스를 지속적으로 모니터링하고 청소할 수 있습니다. 이 모델에는 또한 사전 계획된 챔버 컴포넌트 레이아웃이 포함되어 있어 챔버 액세스가 용이합니다. LAM RESEARCH 4520 XLE은 신뢰성이 높으며 PVD 증착 세라믹 코팅으로 장기 운영 수명을 제공합니다. 이 코팅은 부식에 강하며, 가혹한 화학 물질에 오랫동안 노출되지 않습니다. 또한, 장비에는 우발적 인 포함으로 인해 챔버 거부 위험을 감소시키는 자동 웨이퍼 하중 잠금 (wafer load lock) 및 칠러 밀폐 피어싱 시스템이 있습니다. 또한 4520 XLE에는 실시간 성능 분석 및 프로세스 오류 분석을 제공하는 통합 진단 장치가 있습니다. 또한, 이 머신은 모듈식 설계 (modular design) 와 강력한 분석 제품군 (analytics suite) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 공구 성능을 구성하고 모니터링할 수 있습니다. 통합 분석 플랫폼 (Integrated Analytics Platform) 은 다양한 프로세스 및 장비 데이터를 실시간으로 제공합니다. 결론적으로 LAM RESEARCH 4520 XLE은 뛰어난 프로세스 유연성과 생산성을 제공하는 매우 신뢰할 수있는 asher/etching 자산입니다. 이 모델은 모듈식 설계, 고급 진단 (Advanced Diagnostics), 강력한 분석 플랫폼을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 장비를 정확하고 효과적으로 모니터링하고 구성할 수 있습니다. 이 시스템은 반도체 제작, 의료 기기 부품, 자동차 센서, 광학 부품 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다.