판매용 중고 LAM RESEARCH 4520 XL #9374770

LAM RESEARCH 4520 XL은 고급 유전체 에칭 및 표면 수준의 웨이퍼 청소에 사용되는 에치/애쉬 장비입니다. 정확도, 속도, 반복성으로 고정밀 에칭 및 클리닝 프로세스를 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 이중 마찰 드라이브 수직 선형 (vertical linear stage) 이 장착되어 있어 처리 중 웨이퍼의 정확도가 높고 일관성 있게 정렬됩니다. etcher/asher에는 신뢰할 수있는 프로세스 데이터 분석 및 제어를 제공하는 광학 장치가 장착되어 있습니다. 또한 LAM RESEARCH 4520XL은 여러 웨이퍼를 동시에 처리하여 대용량 생산 응용 프로그램에 적합합니다. 에처/애셔에는 수소 기반 플라즈마 발전기가 장착되어 있으며, 산소 기반 에칭 또는 애쉬 조작을 수행 할 수있다. 발전기에 정전기 척 (Electrostatic Chuck, ESC) 이 장착되어 웨이퍼를 고정하고 정확하게 배치하고 균일 한 에치 품질을 보장 할 수 있습니다. 또한 발전기는 매우 정확한 에칭 기능을 제공하는 EDE (Enhanced Dielectric Etching) 를 갖추고 있습니다. 또한, 발전기에는 최적적이고 일관된 웨이퍼 처리를 위해 SRDS (Substrate Radial Delivery Station) 가 장착되어 있습니다. 웨이퍼는 최대 시속 30 웨이퍼 (wafer) 의 속도로 기계를 통과 할 수 있으며, 지속적으로 모니터링되는 쿼츠 온도를 통해 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 4520 XL은 가장 구체적인 프로세스 요구에 적합한 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 전체 프로세스 시퀀스 생성 기능을 갖춘 온보드, 지능형 프로세스 제어가 특징입니다. 또한 탁월한 진단 기능 (Diagnostic Capability) 을 갖추고 있어 공구 성능을 극대화할 수 있습니다. 이 etcher/asher는 또한 배치 프로세스 관리 시스템뿐만 아니라 프로세스 대기열과도 쉽게 통합 될 수 있습니다. 이 자산에는 와퍼 (per-wafer) 또는 로트 당 (per-lot) 방식으로 레시피를 만들고 관리할 수있는 포괄적 인 레시피 생성 및 관리 도구가 있습니다. 4520XL은 신뢰할 수 있고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 에치/애쉬 (etch/ash) 모델로, 매우 경쟁력 있는 가격으로 최적의 효율성을 제공하면서 최고의 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 반도체, 솔라 (solar), 하드 디스크 드라이브 (hard disk drive) 제조 등 다양한 업종의 대용량 생산 애플리케이션뿐만 아니라 고정밀도 (high-precision) 에 이상적입니다.