판매용 중고 LAM RESEARCH 4500iB #9226623

LAM RESEARCH 4500iB etcher/asher는 반도체 산업의 다양한 에칭 및 애싱 프로세스에 사용되는 고성능 도구입니다. 대규모의 다이를 빠른 속도로 처리할 수 있고, 반복성과 정확성이 뛰어납니다. 4500iB 는 최첨단 기술을 활용하여 가장 효율적이고, 안정적이며, 비용 효율적인 성능을 제공합니다. LAM RESEARCH 4500iB는 고주파 (35 MHz) RF 발전기와 빠른 이온 에너지 및 수송을 위해 설계된 고진공 챔버를 갖춘 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 플라즈마 에치 프로세스를 사용합니다. 또한 건조한 산화 과정을 제공하기 위해 최고로드 핫 월 퍼니스가 있습니다. 4500iB는 높은 에치 레이트 (etch rate) 를 처리하도록 설계되었으며, 전체 웨이퍼에 걸쳐 우수한 균일성을 제공하면서 에칭 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4500iB 는 다양한 전원 공급 장치를 통해 사용자가 다양한 웨이퍼 애플리케이션에 대해 에칭 프로세스를 조정할 수 있도록 합니다. 에칭 및 애싱 외에도 4500iB에는 냉각 가스 시스템, 동적 온도 조절 (dynamic temper control), 통합 자동 감지 (integrated autodetect) 등 여러 가지 기능이 있습니다. 자동 검색 시스템 (Autodetect System) 은 프로세스 매개변수를 실시간으로 검색하고 기록하여 에칭 프로세스를 자세히 살펴봅니다. 이 시스템은 검색 결과 확인, 작업 중 발생할 수 있는 문제 해결에 특히 유용합니다. LAM RESEARCH 4500iB는 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 자가 진단, LAM RESEARCH 기술 지원 팀의 지원을 통해 사용자에게 매우 친숙합니다. 다양한 배치 처리 (deposition batch) 에 대한 프로세스 일관성을 유지하는 데 도움이 되는 반복 가능한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 전체적으로 4500iB etcher/asher는 반도체 처리를 위해 강력하고 다재다능한 도구입니다. 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 작업의 요구를 충족하는 다양한 기능을 제공하며, 경쟁력 있는 가격으로 탁월한 에치 (etch) 품질과 정확성을 제공할 수 있습니다.