판매용 중고 LAM RESEARCH 4500 #9311439

LAM RESEARCH 4500 에치/애쉬 (etch/ash) 장비는 완전하게 자동화된 매우 높은 정확도 에치/애쉬 시스템으로, 단일 프로세스 단계 및 시선방향 웨이퍼 추적으로 고품질 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 이 장치는 놀라운 유연성을 제공하도록 설계되었으며, 단일 프로세스 내에서 최대 4 개의 처리 단계를 완료할 수 있습니다. 이 기계에는 각각 EFMS (etched ferromagnetic material source) 와 CVD (chemical vapor deposition) 및 원자층 증착 (ALD). 표준, 고밀도, 계층 기술을 포함한 레시피 기반 웨이퍼 처리를 지원하며, 온도는 최대 30 ° F입니다. 이 도구에는 또한 화학 디스펜서 (phemical dispenser) 와 빠르게 작용하는 제어 노브 (control knob) 가있는 엔드 이펙터 (end-effector) 가 있으며 에칭 시간, 온도 및 압력을 빠르고 정확하게 제어할 수 있습니다. 4500 etch/ash 자산은 단일 프로세서, 마이크로 스케일 에치 도구 및 양면, 광학 제어 웨이퍼 처리의 독특한 조합을 사용하여 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이 모델은 또한 빠른 wafer-to-wafer 전송 속도와 유연한 프런트엔드 플랫폼을 통해 효율적이고 정확한 처리를 지원합니다. 이 장비의 높은 정확도는 치수 안정성, 균일성 수준 조정, 열 관리, 센서 정확도, 프로세스 제어에 중점을 둔 결과입니다. 이 시스템은 반복 가능 (repeatable) 프로세스와 특수 (specialized) 프로세스 모두에 뛰어난 일관성과 반복성이 필요한 에칭/어싱 프로세스에 이상적입니다. 단일 프로세스 반복성을 갖춘 고품질 고정밀 웨이퍼 (high-precision wafer) 제품을 생산할 수 있으며, 높은 정확도와 모니터링이 필요한 어플리케이션에 선호됩니다.