판매용 중고 LAM RESEARCH 4500 #9298520

LAM RESEARCH 4500은 LAM RESEARCH Corporation의 고급 플라즈마 에칭 장비입니다. 기술 적으로 발전된 고속 에칭 시스템으로, 트렌치 에칭, 미세 패턴, 게이트 에칭, 고화질 에칭 및 기타 고급 에칭 프로세스에 사용됩니다. 이 장치는 애플리케이션의 특정 요구 사항에 맞게 설계된 혁신적인 기술을 사용합니다. 뛰어난 생산성, 유연성, 신뢰성 및 사용 편의성을 제공합니다. 이 기계는 다양한 기판과 재료를 지원하는 고급 에치 챔버 (etch chamber) 를 갖추고 있습니다. 프로세스 균일성이 최적화되어 있으며 뛰어난 웨이퍼 품질을 제공합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 고온 및 저온 에칭 프로세스를 모두 수용 할 수있는 다양한 조절 가능한 플랫폼을 제공하도록 설계되었습니다. 이 약실은 또한 O2, CO2, N2 및 Cl2와 같은 다양한 가스를 지원하므로 광범위한 재료에 이상적입니다. 이 도구에는 에칭 성능 (etching performance) 과 처리량 (throughput) 을 최적화하는 여러 가지 고급 기술이 장착되어 있습니다. 에치 프로파일, 사이드월 각도 및 라인 너비를 제어하는 데 중점을 둔 고성능 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 이온 소스 및 이온 빔을 사용합니다. 또한 통합 현장 프로세스 모니터링, 자동 프로세스 튜닝 및 제어, 정확한 장애 감지 및 프로세스 최적화를 위한 직접 샘플링 (direct sampling) 기능을 제공합니다. 이 자산은 통합 Windows 기반 컨트롤러로 구동되며, 산업 자동화 모델에 연결할 수 있습니다. 포괄적인 문서 패키지와 프로세스/환경 모니터의 실시간 피드백 (feedback) 을 통해 지원됩니다. 포괄적인 사용 설명서에는 설치, 유지 보수, 서비스 지침, 운영 지침, 결과 분석, 문제 해결 등의 내용이 수록되어 있습니다. 4500은 가장 까다로운 에칭 어플리케이션에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 가장 경제적인 자원으로, 가능한 가장 높은 생산량을 생산할 수 있는 이상적인 도구입니다. 고성능 에칭 장비를 찾는 사람들을 위해 LAM RESEARCH 4500은 탁월한 성능과 뛰어난 성능을 제공합니다.