판매용 중고 LAM RESEARCH Rainbow 4500 #9276087

LAM RESEARCH 4500은 광범위한 반도체 및 MEMS 어플리케이션에 탁월한 에치, 애싱 성능, 정확성을 제공하는 업계 표준 에칭 및 애싱 시스템입니다. 그것 은 "실리콘 '," 알루미늄', 구리, 니켈 ', 금 및 기타 금속 과 같은 여러 가지 물질 을 정밀 로 에칭 하고 재기 하는 데 이상적 인 도구 이다. 4500은 다양한 기능을 갖춘 유도 결합 플라즈마 (ICP) 에처/애셔 (echer/asher) 로, 에칭과 재싱을위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. LAM RESEARCH 4500은 고정밀 기능, 반복 가능한 성능 및 낮은 소유 비용을 제공합니다. 선택적 영역 에칭 (etching) 과 선택적 이온 빔 (optional ion beam) 을 통해 높은 처리량과 단단한 공차에서 에칭과 재싱을 수행할 수 있습니다. 사용자 지정 (User Customization) 기능이 뛰어나 프로세스 설정을 애플리케이션 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 4500에는 필요에 따라 프로세스 매개 변수를 조정할 수 있는 고급 프로세스 모니터링 (Advanced Process Monitoring) 및 제어 시스템 (Control System) 이 장착되어 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 PID 제어 시스템과 디지털 컨트롤러가 장착되어 있어 최적의 성능을 보장합니다. 또한 디지털 컨트롤러를 사용하면 사용자 정의 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 레시피를 수행하여 프로세스 제어를 강화할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4500에는 다양한 소재 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 어플리케이션에 적합한 다양한 소프트웨어 및 하드웨어 기능이 장착되어 있습니다. 유연한 챔버 구성, 고급 가스 전달 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 및 원하는 프로세스 결과를 달성하기 위한 광범위한 압력 설정을 제공합니다. 또한, 고급 기판 처리 및 로드 포트 자동화 시스템뿐만 아니라, 처리 후 진단이 포함됩니다. 결론적으로, 4500은 업계에서 사용 가능한 가장 높은 정확도를 사용자에게 제공하는 우수한 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 사용자 정의가 용이하며 다양한 기능과 소프트웨어 제어 기능을 제공합니다. 높은 처리량, 정밀도, 고급 프로세스 제어 및 모니터링 시스템 덕분에 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 애플리케이션에 적합합니다.