판매용 중고 LAM RESEARCH 4500 #9092962

LAM RESEARCH 4500은 습식 에칭/애싱 (wet etching/ashing) 장비로, 광범위한 에칭 및 애싱 응용 프로그램의 요구를 충족시킬 수있는 다용도 및 고가용성 기계입니다. 이 시스템은 포토 마스크 및 레티클 제작, MEMS 및 집적 회로 (IC) 생산에 이상적입니다. 이 장치는 폐쇄 루프 (closed-loop), 자동 공정 챔버와 통합 석영 선박으로 제작되었습니다. 이를 통해 온도, 압력 및 에칭/애싱 화학이 프로세스 전체에서 정확하게 유지됩니다. 이 정교한 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스는 프로세스 반복성이 높게 유지되도록 도와 주며, 4500은 모든 프로덕션 라인에서 신뢰할 수 있는 존재가 됩니다. 이 프로세스는 고객의 정확한 사양 (specification) 에 맞춰 조정할 수 있으므로 다양한 애플리케이션에 대한 처리량 (throughput) 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다. LAM RESEARCH 4500 etcher/asher는 프로세스 일관성과 성능을 향상시키기 위해 여러 기능으로 설계되었습니다. 공압 제어 에칭 가스 및 애싱 가스를위한 별도의 분리 된 가스 전달 시스템 (isolated gas-delivery systems) 과 에칭/애싱 공정에 대한 정확한 온도 조절을위한 액체 전달 머신 (liquid delivery machine) 이 특징입니다. 따라서 각 에칭 (etching )/애싱 (ashing) 주기가 가능한 한 정확하고 안정적이므로 고객이 원하는 결과를 보다 쉽게 얻을 수 있습니다. 또한, 이 도구는 다양한 고급 통합 진단 도구를 사용하여 빠르고 간편한 프로세스 모니터링 (process monitoring) 을 지원합니다. 이는 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스가 운영 실행 내내 정확하고 반복 가능하도록 하는 데 도움이됩니다. 이 자산에는 또한 고주파 코일 (high-frequency coil) 모델이 포함되어 있으므로 모든 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스에 이상적인 결과를 얻기 위해 정확한 조정이 가능합니다. 전체적으로, 4500 etcher/asher는 다양한 포토 마스크 및 레티클 제작, MEMS 및 IC 생산 요구 사항에 이상적인 다재다능하고 신뢰할 수있는 에칭/애싱 장비입니다. 이 제품은 정확한 프로세스 제어 (process control), 탁월한 프로세스 모니터링, 사용자 정의 가능한 프로세스 설정 등을 갖추고 있어 모든 운영 라인에 적합한 솔루션입니다.