판매용 중고 LAM RESEARCH 4450 #9226299

LAM RESEARCH 4450은 반도체 재료에서 고 종횡비 구조의 깊은 이방성 에칭에 사용되는 etcher/asher입니다. 4450은 습하고 건조한 공정 모두에서 에칭 (etcher/asher) 을 할 수있는 범용 에처/애셔입니다. 공정 매개변수의 정확한 제어를 위한 디지털 쿼츠 컨트롤러 (digital quartz controller) 와 고출력 무선 주파수 생성기 (high-power radio-frequency generator) 가 있으며, 선택할 수 있는 다양한 공정 화학 물질이 있습니다. LAM RESEARCH 4450은 높은 반복성, 정확한 제어, 유연성 등 수동 에칭 또는 애싱 프로세스에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide), 인듐 (indium phosphide) 등 대부분의 반도체 물질을 에치하거나 재로 만드는 데 필요한 모든 기능을 갖춘 단일 도구로 설계되었습니다. 4450은 또한 금속, 도자기 및 유리와 같은 재료를 에칭 할 수 있습니다. LAM RESEARCH 4450은 단일 소형 침입 장치 (compact intrusion devaratus) 가 장착 된 컴팩트 한 디자인으로 단단한 설계 프로세스를 제공합니다. 또한 마이크로프로세서 기반 컨트롤러가 장착되어 있어 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스의 모니터링 및 매개변수 설정을 지원합니다. 4450은 또한 공정의 가스 또는 에어로졸 부산물을 처리하기위한 통합 배기 시스템 (exhaust system) 과 런 (run) 사이에 챔버를 대피하기위한 진공 펌프 (vacuum pump) 를 갖추고 있습니다. LAM RESEARCH 4450의 주요 기능은 고출력 RF 생성기로, 에칭 및 애싱 매개변수를 정확하고 반복적으로 제어 할 수 있습니다. 그것 은 습기 와 건기 에서 "에칭 '이나" 애싱' 에 사용 될 수 있는 매우 다양 한 공정 화학 물질 과 함께 사용 된다. 주파수 (Frequency), 펄스 너비 (Pulse Width) 및 듀티 사이클 (Duty Cycle) 과 같은 매개변수는 뛰어난 프로세스 제어를 위해 정확하게 조정할 수 있습니다. 4450은 다양한 재료에서 높은 종횡비 (aspect ratio) 구조를 에칭 또는 재싱하기위한 다재다능한 도구입니다. 컴팩트하고 정확한 디자인은 깊은 이방성 에칭 (anisotropic etching) 과 애싱 (ashing) 에 대한 신뢰할 수있는 선택입니다. 디지털 컨트롤러 (Digital Controller) 와 RF 발전기 (RF Generator) 는 에칭 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 정확하게 제어하고 다양한 화학 물질은 광범위한 어플리케이션을 위한 완벽한 유연성을 제공합니다.