판매용 중고 LAM RESEARCH 4420 #9198093

LAM RESEARCH 4420 Asher/Etcher는 최적의 반복 가능성, 프로세스 제어 및 처리량을 제공하도록 설계된 고성능 드라이 에칭 시스템입니다. 고속 열 제어, Etch Rate Control, In-Situ Cleaning 기능을 포함한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 여러 애플리케이션에 대해 자동화된 운영 및 프로세스 유연성의 유연성을 제공합니다. 4420은 유리, 폴리 이마이드, 반도체 웨이퍼 등 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 우수한 온도, 압력 및 균일 한 흐름 제어를 제공하는 고급 쿼츠 에치 튜브 (advanced quartz etch tube) 가 장착되어 있습니다. 이중 플라즈마 모드, 가변 주파수 전원 제어, 깊은 에치의 긴 펄스 지속 시간 (long pulse duration) 과 같은 고급 에치 메커니즘은 단단 에칭보다 더 큰 프로세스 기능을 허용합니다. LAM RESEARCH 4420의 멀티 챔버 디자인은 이방성 및 등방성 에칭을 모두 가능하게합니다. 이방성 에치 모드는 우수한 에치 레이트 제어로 3 단계 에치 프로세스를 사용합니다. 또한 일관된 에치 성능을 보장하기 위해 최적화 된 챔버 디자인이 특징입니다. 4420은 또한 CFC가 없는 유체 (fluid) 를 갖춘 자동 제거 시스템을 갖추고 있으며, 높은 반복성, 프로세스 제어 및 처리량을 보장하도록 설계되었습니다. 공정 챔버 전체에 균일 한 효과적인 진공 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, LAM RESEARCH 4420은 여러 애플리케이션에 대한 데이터 획득, 원격 진단, 레시피 프로그래밍을 지원하는 소프트웨어에서 지원됩니다. 또한 프로세스 제어를 최적화하고 품질 보증을 해주는 센서 (sensor) 와 진단 (diagnostics) 을 완벽하게 갖추고 있습니다. 전체적으로 4420은 획일성, 반복성, 프로세스 제어를 보장하는 고급 기능을 갖춘 강력하고 비용 효율적인 etcher/asher입니다. 또한 사용이 간편한 인터페이스 (interface) 와 포괄적인 고객 지원 오퍼링 (customer support offering) 을 통해 다양한 애플리케이션의 프로세스 유연성을 신속하게 높일 수 있습니다.