판매용 중고 LAM RESEARCH 4400 #9137680

LAM RESEARCH 4400
제조사
LAM RESEARCH
모델
4400
ID: 9137680
Poly silicon etcher.
LAM RESEARCH 4400은 반도체 제조 및 기타 재료 증착 공정에 사용되는 최첨단 asher/etcher입니다. 최첨단 고해상도 기술로 4400 은 우수하고 안정적인 성능을 제공합니다. LAM RESEARCH 4400은 LAM RESEARCH 제품 라인의 최신 및 가장 고급 기능을 가지고 있으며 폴리 이마이드, 실리콘 질화물, 금속, 유전층 등 다양한 물질의 효율적인 에칭 및 증착을 위해 설계되었습니다. 직경이 최대 6 "인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 4400에는 독자적인 LAM Open Cluster Tool 아키텍처가 장착되어 있어 유연성, 확장성 및 프로세스 개발이 가능합니다. 이 독보적인 기술은 프로세스 매개변수를 최적화하여 처리량을 극대화하고 최종 제품의 품질을 향상시킵니다. LAM RESEARCH 4400은 고급 재료를 처리하기 위한 강력하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 고급 플라즈마 처리, 다중 가스 인젝터, 멀티 존 가스 (multi-zone gase) 등 식각 및 증착에 몇 가지 향상된 도구를 사용합니다. 이 "에너지 '는 모든 형태 의 재료 에 대한 강력 한 과정 뿐 아니라 훌륭 한 균일성 과 제어 를 보장 해 준다. 4400은 또한 금속 및 유전층의 에칭 및 증착을위한 고급 프로세스를 제공합니다. LAM RESEARCH 4400 의 고해상도 기능을 사용하면 얇고 균일한 레이어를 생산할 수 있으며, 사이드월 품질을 향상시킬 수 있습니다. 이를 통해 제품 성능과 생산량을 더욱 최적화할 수 있습니다. 4400은 반도체 및 기타 재료 예금 프로세스에 대한 고급 기능과 성능을 제공하는 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 공정 제어 (process control) 에서 높은 유연성을 제공하여 다양한 재료 에칭 및 증착 요구 사항에 이상적입니다. LAM RESEARCH 4400 은 고급 아키텍처 (Advanced Architecture) 를 통해 탁월한 프로세스 균일성과 제어 기능을 제공하며 최첨단 반도체 장치 업계를 위한 강력하면서도 안정적인 프로세스를 제공합니다.
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