판매용 중고 LAM RESEARCH 4000 Series #9169567

LAM RESEARCH 4000 Series Etcher/Asher는 정교한 고주파 자동 플라즈마 에칭 장비로, 생산 및 연구 및 개발을 위해 설계되었습니다. 대부분의 유전체 및 금속 필름에 화학이없는 에칭을 제공하는 직관적 인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 시스템은 LAM RESEARCH 특허를받은 X-Cs 기술을 사용하여 고급 에칭 정밀도를 제공하고 프로세스 매개 변수를 제어합니다. 4000 시리즈는 고급 축 형 순차 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 이 소스는 최고 품질의 에칭 (etching) 결과가 최단 시간 내에 달성되는 반면, 고급 처킹 (chucking) 메커니즘은 진공 조건에서 웨이퍼 (wafer) 를 확보하여 안정적인 처리 플랫폼을 제공합니다. 이 장치의 통합 플라즈마 제어 (Integrated Plasma Control) 서브시스템은 모든 프로세스 매개변수를 정확하게 관리하여 웨이퍼 간에 일관된 에칭 품질을 보장합니다. 제어 소프트웨어를 사용하면 나중에 사용할 수 있도록 레시피를 쉽게 프로그래밍하고 저장할 수 있습니다. 뛰어난 에칭 기능 외에도 LAM RESEARCH 4000 시리즈는 뛰어난 전력 및 공기 흐름 관리 기능을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 "에칭 '속도 와 안정성 이 일관성 있게 유지 되고 기계 의 총 성능 은 극대화 된다. 4000 시리즈에는 LAM RESEARCH 검증된 센서 기술이 적용되어 에치 챔버의 피드백 제어, 챔버 반복성 향상, 장기 챔버 성능 유지 등의 기능을 제공합니다. 고급 진공 제어 도구는 안정적인 진공 성능을 제공하며 오염 제어를 향상시킵니다. LAM RESEARCH 4000 Series Etcher/Asher 는 다양한 재료, 고품질 결과, 직관적인 사용자 인터페이스를 에치 (etch) 할 수 있는 기능으로, 생산 및 연구 개발 분야에서 고정밀 에칭 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.