판매용 중고 LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP #293649521

LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP는 고급 반도체 재료 생산을 위해 특별히 설계된 완전 자동화 에처/애셔입니다. 이 장비에는 정확하고 반복 가능한 프로세스를 보장하기 위해 고급 프로세스 제어 (process control) 기능이 장착되어 있습니다. 2600 E6 Flex FXP의 기능은 고급 반도체 재료 개발에서 타의 추종을 불허합니다. LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP Etcher/Asher는 에칭 및 애싱 프로세스 전체에서 최고 수준의 기판 재현성을 가지고 있습니다. 시스템의 핵심에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 전반에 걸쳐 뛰어난 수준의 재생 가능한 기판 이동 및 정렬을 제공하는 웨이퍼 (wafer) 전송 메커니즘이 있습니다. 이 단위는 정확하고 반복 가능한 치수 제어 및 프로세스 일관성을 가능하게합니다. 이 기계는 평면 표면의 초고해상도 플라즈마 에치 (plasma etch) 및 애셔 (asher) 응용 프로그램 또는 깊은 참호와 측면 벽 접근을 위해 설계되었습니다. 2600 E6 Flex FXP는 또한 에칭을 위해 고농도 이온 소스 및 고압 광선 방전을 제공하며, 최고의 공정 성능을 위해 고품질 플라즈마 애싱 (ashing) 과 결합됩니다. 강렬한 플라즈마 (Plasma) 는 다양한 응용 프로그램에 대한 다양한 웨이퍼 유형을 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 도구는 또한 여러 개의 플라즈마 소스를 사용하여 높은 에치 레이트 (etch rate) 와 넓은 프로세스 창을 활성화합니다. 최적의 프로세스 제어를 위해 LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP는 종단점 제어, 실시간 온도/압력 피드백 등 다양한 고급 프로세스 제어 피드백 및 제어 기능도 제공합니다. 2600 E6 Flex FXP는 고급 반도체 재료 제조 환경에 필수적인 도구로서, 반복 가능하고 재현 가능한 프로세스, 높은 수준의 공정 제어를 제공합니다. 우수한 기판 에칭/애싱 성능, 고급 프로세스 제어 피드백 및 뛰어난 프로세스 정확성의 조합으로 LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP는 고급 반도체 생산을위한 필수 도구입니다.