판매용 중고 LAM RESEARCH 2300e6 Kiyo EX #293631692

LAM RESEARCH 2300e6 Kiyo EX는 제조성을 위해 고급 금속 용 구리 알루미나 패턴화를 위해 제작 된 고급 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 고급 (Advanced) 패턴화 기능을 통해 고급 처리를 가능하게 하는 기계적 정렬 장치 (Mechanical Alignment Unit) 로 설계되었습니다. 화학적 수동화 (passivation), 금속 에칭 (etching), 고급 클리닝 (advanced cleaning) 과 같은 다양한 안전한 공정 옵션을 제공합니다. 이 기계에는 가변 기판 바이어스 제어 및 고급 RF 제어 (advanced RF control) 와 같은 여러 고급 프로세스 제어 도구가 포함되어 있습니다. 저전력 RF 발전기를 사용하여 수십 ~ 수십 kHz (tunable range) 및 넓은 스윕 주파수 범위를 제공합니다. 사용자가 다양한 증착 가스 중에서 선택할 수있는 4 개의 독립적 인 가스 소스가 있습니다. 또한 4 개의 이중 체인 RF 코일, PID 온도 센서 및 닫힌 루프 RF 진폭 및 전원 제어가 있습니다. 에처/애셔 도구는 10 인치 9 인치 및 11 인치 옵션 인 더 높은 해상도와 균일성을 제공하는 8 인치 전극을 갖추고 있습니다. 최대 3 개의 독립 가스 소스를 보유하고 있으며, 알루미늄 바디 (Aluminum Body) 와 고급 포지셔닝 에셋 (Positioning Asset) 으로 설계되어 신뢰성을 향상시킵니다. 뿐 만 아니라, 이 장치 에는 압력 과 온도 "센서 '와 청소" 센서' 를 지지 하는 자가 "모니터 '가 장착 되어 있다. 액체 전달 장치, 진공 챔버 청소 장치 및 냉각수 분석 모델이 있습니다. 2300e6 Kiyo EX 장비는 반도체 제조에서 가장 발전된 응용 프로그램 개발에 사용하도록 설계되었습니다. 저전력 사용, 고급 기판 홀더 및 고급 RF 시스템이 포함됩니다. 이 장치를 사용하면 고급 구조를 효율적이고 정확하게 패턴 화 할 수 있습니다. 광범위한 공정 옵션 (process options) 과 독립 가스 소스 (independent gas source) 는 고급 금속 알루미나 패턴 적용을 위해 훌륭한 선택입니다.