판매용 중고 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293754175

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에처/애셔
제조사
LAM RESEARCH
모델
2300e5 Exelan Flex FX
ID: 293754175
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
Dielectric etcher, 12" Does not include Hard Disk Drive (HDD) Process: Oxide (4) Load ports Position 1,2,3,4,5: Gases: C4F6 COS O2 CH2F2 C4F8 Ar CHF3 H2 NF3 N2 CF4 Power supply: 200 AC, 3 Phase 2014 vintage.
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