판매용 중고 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293668506

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX (Chemical Mechanical Planarization) etcher/asher는 복잡한 기능을 다양한 재료로 에칭하는 데 사용되는 혁신적인 에칭 도구입니다. R&D 및 생산 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 멀티 챔버 에처 및 애셔 장비입니다. 2300e5 Exelan Flex FX는 CMP (chemical-mechanical planarization process) 를 사용하여 크기 또는 모양에 제한이없는 모든 재료에 매우 정확하고 일관되게 균일 한 기능을 삽입합니다. 이 기계에는 최대 0.075 미크론 두께의 이온 폭격 (ion bombardments) 과 습식 (wet) 또는 건조 (dry) 화학 에치의 조합으로 최대 0.075 미크론의 기능을 생성 할 수있는 이중 에칭 챔버가 장착되어 있습니다. 챔버는 단일 에칭, 2 개의 에칭 및 단일 트림 또는 결합 된 에치/트림 작업에 대해 설정 될 수 있습니다. 이 모든 작업은 자원을 전환하지 않고도 현장 내에서 수행할 수 있습니다. 이 기계는 또한 내장형 웨이퍼 추적 시스템 (wafer tracking system) 을 통해 사용자가 지속적인 에칭 프로세스를 감독할 수 있으며, 프로세스 및 에치 레시피에 대한 감사 추적을 수행할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 가 올바르게 에칭되도록 프로세스의 종점을 모니터링하도록 소프트웨어를 설정할 수도 있습니다. etcher/asher는 안전 연동 장치 (safety interlock unit) 로 설계되어 승인없이 웨이퍼 파손 또는 변조 위험을 제거합니다. 탱크와 펌프 시스템은 각 에친트 (etchant) 마다 분리되어 있으며, 서로 다른 에찬트 (etchant) 의 교차 오염 또는 우발적 혼합 가능성이 없습니다. LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX의 가장 주목할만한 기능 중 하나는 고급 자동화 기능입니다. 전체 프로세스는 다른 제조 제어 시스템 (Manufacturing Control System) 과 통합되고 반복 가능한 결과를 보장하는 제어 시스템 (Control Machine) 에 의해 관리됩니다. 또한 이 툴에는 다른 로컬/원격 시스템에 연결하기 위한 OPCUA 통신 프로토콜이 장착되어 있습니다. 2300e5 Exelan Flex FX는 생산, 연구 및 개발 응용 프로그램을 위해 설계된 다재다능하고 신뢰할 수있는 etcher/asher 자산입니다. 이 기계는 고급 정밀 기능 (precision features) 과 자동화 기능 (automation capability) 을 결합하여 복잡한 기능을 높은 정확도와 반복성으로 에치할 수 있습니다. 즉, 제조업체의 유연성과 비용 효율성을 높여 짧은 시간 내에, 최소한의 폐기물로 복잡한 에칭 (etching) 프로세스를 완료할 수 있습니다.