판매용 중고 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293758911

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX는 다양한 기판에서 여러 프로세스를 위해 설계된 에처/애셔입니다. 대형 2650mm x 1950mm 처리 구역을 갖추고 있으며, 한 번에 최대 3 개의 풀 사이즈 300mm 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 하드웨어는 4 개의 프로세스 영역, IMP (Integrated Multiple Process) 모드 및 8 개의 zone 구성을 통합하도록 설계되었습니다. 2300e5는 고급 프로세스 제어 및 LMD (Low Metallization Drift) 기능을 제공하도록 설계되었으며, 프로세스 반복성과 균일성을 높여주는 인챔버 (in-chamber) 옵티컬 센서 (옵션) 를 제공합니다. 자동화된 배송 장비 (automated delivery equipment) 를 통해 빠르고 쉽게 기판을 처리할 수 있으며, 고급 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System) 을 통해 작동 중 챔버 부품과의 인적 접촉을 줄일 수 있습니다. 2300e5는 빠르고 효율적인 프로세스를 위해 여러 가지 기능으로 구성됩니다. 이러한 기능에는 RF, Gas and Temperature Control, RTA (Rapid Thermal Anneal Unit) 및 빠른 대피를 용이하게하는 대규모 진공 펌프에 대한 실시간 조정이 포함됩니다. 이 기계는 플라즈마 소스 (Plasma Source), 전원 공급 장치 (Power Supplies) 및 공정 레시피 (Process Recipe) 배열을 통해 사용자 정의가 가능합니다. Exelan Flex EX는 프로세스 변수의 실시간 표시, 자동 조정, 자동 간격 및 초점 조정, 현장 에치 속도 모니터, RTP 프로그램 등 포괄적인 모니터링 및 보고 기능을 제공합니다. 2300e5의 내장 하드웨어, 소프트웨어, 제어에 대한 액세스는 CCom 및 직렬 인터페이스, 또는 이더넷 연결 사용자 인터페이스를 통해 이루어집니다. 2300e5 Exelan Flex EX (Exelan Flex EX) 는 여러 프로세스를 사용하는 여러 기판에서 효율적이고 안정적인 에칭 및 애싱 프로세스를 제공합니다. 첨단 하드웨어 (advanced hardware) 와 소프트웨어 (software) 의 조합으로 고급 반도체 프로세싱에서 산업용 인쇄 및 코팅에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 최대 3 개의 풀 사이즈 300mm 웨이퍼 및 프로세스 제어, 특정 분석 및 모니터링 기능, 신속한 열 어닐링 및 자동 전달 도구와 같은 기능을 갖춘 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX는 다재다능하고 강력한 에처/애셔.