판매용 중고 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293751704

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX는 고급 반도체 프론트 엔드 장치 제조를위한 차세대 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔는 시장을 선도하는 Exelan 단일 웨이퍼 에칭 기술과 새로운 멀티 모드 챔버 디자인 및 몇 가지 성능 향상을 결합합니다. 이 고급 에칭 플랫폼은 유연성, 처리량, 수율 향상을 위한 수많은 통합 프로세스 모듈을 갖추고 있습니다. Exelan Flex EX etcher/asher는 프로세스 윈도우가 넓은 다양한 etch 및 ash 응용 프로그램을위한 광범위한 프로세스 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 단일 웨이퍼 직접 소스 구성에서 고에너지 소스 (high-energy source) 및 에치 소스 (etch source) 를 사용하여 뛰어난 에치 균일성 및 제품 품질을 제공합니다. 특허를받은 Active Asher 기술은 재 작업 중 뛰어난 엔드 포인트 제어를 제공합니다. 고급 다중 모드 챔버 (Multi-Mode Chamber) 는 프로세스의 유연성을 높이고 웨이퍼 당 저렴한 비용으로 더 높은 볼륨의 처리량을 용이하게 하도록 설계되었습니다. 또한 엑셀란 플렉스 엑스 (Exelan Flex EX) 는 직관적인 독점 제어 시스템을 제공하여 에칭 및 애싱 작업 중 사용 편의성과 제어 정확성을 보장합니다. 이 제어 시스템은 포괄적인 프로세스 관리를 위해 전체 프로세스 모니터링, 제어, 진단 기능을 제공합니다. 또한 하드웨어/소프트웨어 툴이 통합되어 다양한 프로세스/애플리케이션에 신속하게 적응할 수 있습니다. Exelan Flex EX etcher/asher는 초고밀도 장치 제작을 포함한 고급 반도체 생산 환경에 이상적인 선택입니다. 견고하고, 확장 가능한 플랫폼은 반복 가능하고, 안정적인 결과를 얻을 수 있도록 설계되었으며, 비용과 유지 관리 요구 사항도 줄여줍니다. 생산성, 탁월한 프로세스 기능, 탁월한 프로세스 제어 기능을 갖춘 2300e5 Exelan Flex EX는 오늘날 가장 진보된 반도체 장치 제작에서 최적화된 성능과 생산성을 달성하기 위한 최적의 선택입니다.