판매용 중고 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385701
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판매
ID: 9385701
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
Dielectric etcher, 12"
Type: (3) FOUPs
User interface: Side and front monitor U
(3) Hermos Carrier ID
Light curtain with OHT / RGV
25 Slots input buffer station
UPS Circuitry system
Earth leakage breaker
TM-Subpanel cable: 100 ft
Calibration and alignment system
Air intake system: MEV
NSR8423 Hardware firewall
Differential pressure: ATM
4XX Series ESC
Flow meter: 10 GPM
Dual PM facilities
With temperature monitor
Generator: 60 MHz
Adjustable Gap
Dual zone ESC cooling
Standard conductance kit
Heated foreline manometer
(4) Non-Qual Pump
(4) Non-Qual 2 Ch TCU
Interconnect hardware:
Pump to TCU: 100 ft
TCU to PM: 100 ft
Pump to PM: 100 ft
EMO Cable:
TCU to RPDB: 50 ft
Pump to RPDB: 50 ft
Talon
Quick clean kit
(3) 2300 Gas boxes
(40) Jetstream gas lines
(8) Heated gas lines
(4) NSR MFC
(17) Facility interface boxes
2015 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX는 정밀 제어, 유연성 및 성능을 위해 여러 가지 고급 기술을 갖춘 에처/애셔입니다. 이 장비는 LAM의 Exelan Flex DX 제어 시스템으로 구동되며, 전체 소프트웨어 통합 및 선택 가능한 O2 ETCH 또는 고속 O2 애셔 작동, 확장 에치 제어, 온도 기반 프로세스 제어 및 온도 프로파일링을 포함한 광범위한 기능을 제공합니다. 이 장치에는 최적의 균일성을 위해 가동 가능한 히터 어셈블리를 갖춘 4 위치, 42-in4, 공정 자격 난로가 포함됩니다. 난로에는 최대 1600 ° C의 작동 온도를위한 세라믹 클래드 내화 재료와 VHF 또는 ECR 에칭을위한 250 와트 RF 생성기 (옵션) 가 늘어서 있습니다. Exelan Flex DX 소프트웨어를 사용하면 쉽고 정확한 프로세스 설정 및 시뮬레이션을 수행할 수 있으며, 사용자 정의 매개변수로 최대 64 개의 프로세스 레시피를 저장할 수 있습니다. 통합 가스 배달기 (gas delivery machine) 는 타의 추종을 불허하며, 개별 유속 및 퍼징으로 에칭 또는 애싱 (ashing) 에 사용되는 최대 4 개의 가스를 정확하게 도입 할 수 있습니다. 압력과 흐름, 그리고 O2 및 Ar 수준은 내장형 흐름 컨트롤러로 즉시 모니터링 및 조정할 수 있습니다. 전해질 촉매 모듈 (Electrolyte Catalyst Module) 은 사용자가 필름 성장, 전기 분해 청소, 확산 등의 프로세스를 포함하도록 에칭 또는 애싱 이상의 반응 지식을 확장 할 수 있습니다. 2300e4 Exelan Flex DX에는 고급 정밀 스퍼터 모듈도 포함되어 있으며, 표적과 전원을 독립적으로 제어하여 스퍼터 균일성을 보장합니다. 이 도구에는 통합 셔터 폐쇄 메커니즘, 쉬운 샘플 처리를위한 로터리 챔버 (rotary chamber) 및 쿼드 터보 분자 펌프 (quad turbo molecular pump) 가 모두 있습니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 더 뛰어난 수준의 표면 준비 (surface preparation) 를 통해 모든 프로세스를 더욱 반복적으로, 안정적으로 수행할 수 있습니다.
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