판매용 중고 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385677
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판매
ID: 9385677
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2015
Dielectric etcher, 12"
Type: (3) FOUPs
User interface: Side and front monitor U
(3) Hermos Carrier ID
Light curtain with OHT / RGV
25 Slots input buffer station
Conditioning station
UPS Circuitry system
Earth leakage breaker
TM-Subpanel cable: 100 ft
Calibration and alignment system
Air intake system: MEV
NSR8423 Hardware firewall
Differential pressure: ATM
Skywhite front fascia
Wafer flow tuning
APC Recipe tuning host
2nd HSMS
4XX Series ESC
Flow meter: 10 GPM
Dual PM facilities
With temperature monitor
Generator: 60 MHz
Adjustable gap
Dual zone ESC Cooling
Standard conductance kit
Heated foreline manometer
Interconnect hardware:
Pump to TCU: 100 ft
TCU to PM: 100 ft
Pump to PM: 100 ft
EMO Cable:
TCU to RPDB: 50 ft
Pump to RPDB: 50 ft
Talon
Quick clean kit
(3) 2300 Gas boxes
(30) Jetstream gas lines
(6) Heated gas lines
(3) NSR MFC
(17) Facility interface boxes
2015 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX는 대용량 3 차원 전자 및 대용량 증착 응용을 위해 설계된 드라이 에처/애셔입니다. 처리량, 프로세스 제어, 프로세스 반복성 측면에서 다른 etcher 및 asher 에 비해 상당한 개선을 제공합니다. 2300e4 Exelan Flex DX에는 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수있는 고급 증착 프로세스가 있습니다. 그것은 일반적으로 박막 증착에 사용되며, 넓은 지역 기질의 에칭 (etching) 과 재시 (ashing) 에 사용됩니다. XeF2, O2, NF3, Cl2 및 Ar을 포함한 4 개의 선택 가능한 소스가 있습니다. Exelan Flex DX는 다양한 재료와 기판을 수용하도록 구성 할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX의 주요 장점 중 하나는 높은 처리량입니다. 사용된 구성, 프로세스 매개 변수에 따라 시간당 최대 37u 개의 레이어를 생산할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 프로세스 제어 및 프로세스 모니터링을 통해 정확하고 반복 가능한 프로세스를 위해 완벽하게 자동화됩니다. 2300e4 Exelan Flex DX는 또한 뛰어난 프로세스 품질을 제공합니다. 조절 가능한 플라즈마 밀도 및 압력 제어는 증착 과정의 균일성과 반복성을 향상시킵니다. 엑셀란 플렉스 DX (Exelan Flex DX) 에는 고급 클리닝 시스템이 장착되어 있어 클리닝 프로세스를 간소화하고 프로세스 반복성을 향상시킵니다. 또한 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX는 몇 가지 중요한 안전 기능을 제공합니다. 여기에는 비상 또는 프로세스 불규칙성, 로드 잠금 (load-lock) 및 기판 홀더 안전 시스템 (substrate holder safety system) 의 경우 자동 종료 기능이 포함됩니다. 이러한 안전 기능을 통해 에처/애셔 (etcher/asher) 는 최소한의 위험이있는 광범위한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 전체적으로 2300e4 Exelan Flex DX는 대용량 3 차원 전자 및 대용량 증착 응용을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. 탁월한 처리량 및 프로세스 품질, 그리고 중요한 안전 (Safety) 기능을 제공하여 최적의 안전성과 프로세스 반복성을 보장합니다.
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