판매용 중고 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #293601041
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판매
ID: 293601041
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2017
Dielectric etcher, 12"
Seismic bracket TM
Weight dist plate TM
(3) Seismic brackets PM
(3) 2300 Flex DX
2300e4 Platform
2300 Process module
2300 Flex D Series option
(3) 4XX Series ESCs
(3) PM Facilities: Dual with temp monitor
(3) Flow meters: 10 GPM
(3) eDGF+ Gas feeds
Dual zone ESC Cooling flex
D Series
Heated foreline manometer
Top Pl Chamber manometer
Baffle
Lower isolation valve: Viton
Chemraz vacuum valve
Interconnect hardware:
Pump to TCU 100ft
TCU to PM 100ft
(3) Interconnect hardware: Pump to PM 100ft
EMO Cables:
(3) TCU to RPDB 50 ft
(3) Pump to RPDB 50 ft
2300 Flex D Series quick clean kit
2300 Gas box
2300 Flex D Series Jetstream
(3) Jetstream gas lines
(6) Heated gas lines
(51) HORIBA D519
(17) SST Facility interface boxes
(17) SST Facility interface boxes
UI Display with disp trans
(16) UI Display with disp trans
2300 Platform (E)
(3) Hermos carrier ID
Additional load port
(3) Corrosion resistant LPM
WIDS Btm read
RGV / OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
AUX Buffer: 25 Slot
Vespel wafer finger
EDWARDS iXL
Vespel single sense
Advanced aligner
User Interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Internal UPS bypass with UPS
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100 ft
Signal light tower, R-G-A Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Flow monitoring
System calibration and alignment
Service step for PM
Ionizer kit
ATM Duct interface
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv fittings
APCS
SVID and facility interface board
VTM Breakout board / cover
2nd TM Pump standard with EQ
2300 Peripheral
(3) Non-qual 2-Channel TCU
Gateway communication
2300 Ship ahead
Standard ship ahead item
2300 Additional enhancement
Standard process quality
Standard training
Wafer flow tuning
APC Recipe tuning host
2nd HSMS
NSR 8423, Hardware firewall
EDA2
NSRL 1000
Generator: 60 MHz
2017 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX는 매우 정밀한 미세 구조를 만들도록 설계된 고급 고출력 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 에칭 기능을 갖추고 있으며, 매우 상세하고 정확한 에칭 기판 층을 생성 할 수 있습니다. 이 장비는 고급 기술을 사용하여 실리콘, 복합 반도체와 같은 재료를 쉽게 처리합니다. 2300e4 엑셀란 플렉스 DX (Exelan Flex Dx) 는 고속 스캔 메커니즘을 특징으로하며, 이는 광학 시스템을 통해 대용량 대상을 빠르게 스캔할 수 있습니다. 이 장치는 또한 최신 레이저 기술을 사용하여 에칭 (etch) 시 극도의 정확성과 정밀도를 보장합니다. 또한, 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 다양한 맞춤형 에치 레시피가 장착되어 있으며, 이는 매우 구체적인 구조를 생성하는 데 사용될 수 있습니다. 따라서 다양한 구조물을 손쉽게 제작할 수 있습니다 (영문). 이 기계는 또한 향상된 프로세스 제어 (process control) 기능을 제공하여 더 높은 수준의 프로세스 반복성과 최적화를 보장합니다. LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX에는 에칭 기능 외에도 고급 냉각 시스템도 포함되어 있어 최적의 성능과 긴 기계 수명을 보장합니다. 또한 PLC (programmable logic controller) 를 통해 고객은 정확한 요구에 따라 공구 매개변수를 조정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 긴급 정지 버튼 (Emergency Stop Button) 과 인터 록 (Interlock) 과 같은 여러 안전 기능을 갖추고 있어 사고 위험을 줄입니다. 또한 유지 보수 (Maintenance) 및 서비스 (Service) 기능이 모델에 내장되어 있어 장비의 작동을 최적의 수준으로 쉽게 유지할 수 있습니다. 결론적으로, 2300e4 Exelan Flex DX는 고도로 상세하고 정확한 에칭 기판 층을 생성 할 수있는 고급 에처/애셔입니다. 다양한 맞춤형 에치 레시피, 고급 냉각 시스템 (Advanced Cooling System), 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 이 장착되어 있어 산업 및 연구 응용을위한 신뢰할 수 있고 신뢰할 수있는 에처/애셔입니다.
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