판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 #9407004
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ID: 9407004
빈티지: 2006
Etcher
EFEM
TM
AC Rack
Spare parts
(4) PTC LANTRA 1300
Load port
RF Cart
Gas frame
RPDB
Gas box
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300은 LAM RESEARCH Corporation에서 개발 한 업계 최고의 고급 습식 에칭/애싱 장비입니다. 이 시스템은 고밀도 반도체 웨이퍼를 처리하고 탁월한 에칭 일관성과 균일성을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 2300 장치는 이전에 사용 가능한 습식 에칭 시스템보다 높은 수준의 성능을 제공하도록 설계되었으며, 수상 경력에 빛나는 특허 기술 (Patented Technology) 을 통해 업계 최고의 에치 속도, 균일성, 정확성을 제공합니다. LAM RESEARCH 2300은 종합적인 프로세스 가스를 제공하는 CDS (Chemical Delivery Machine) 와 기판 온도를 정확하게 제어하기위한 2 개의 Heat Exchanger로 구성됩니다. CDS 와 Heat Exchanger 는 모두 내장형 컨트롤러를 통해 능동적으로 유지 관리되고 최적화되어 안정적이고, 반복 가능하며, 일관된 에칭 성능을 보장합니다. 2300에는 고급 에처 플라즈마 생성 소스를 포함하는 공정 챔버도 포함됩니다. 이 독특한 소스는 다양한 플라즈마 유형과 주파수를 생성 할 수 있으며, CDS 및 Heat Exchangers와 함께 작동하여 웨이퍼 (wafer) 의 전체 밀도에 걸쳐 우수한 에칭 결과를 제공합니다. 또한, LAM RESEARCH 2300 도구는 설치, 유지 보수가 용이하며, 다양한 안전 및 진단 기능을 제공하여 안정적이고 안전한 운영을 보장합니다. 이 자산은 또한 광범위한 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 와 호환되며, 하루에 최대 4 백만 웨이퍼를 지원하므로 대규모 생산에 매우 높은 처리량을 제공합니다. 결론적으로, 2300 은 강력한 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 모델로서 최고 수준의 성능과 신뢰성을 제공합니다. 업계를 선도하는 하드웨어와 소프트웨어를 결합한 장비는 다양한 프로세스 (process) 와 기판 (substrate) 유형의 우수한 결과를 보장하는 반면, 직관적인 설계와 진단 기능은 설치/유지 관리를 단순화합니다.
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