판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 #9032646

LAM RESEARCH 2300은 박막 증착 및 처리에 사용되는 최첨단 에처/애셔입니다. 반도체, FPD (Flat Panel Display), PV (Thin Film Photovoltaic) 제조 등 업계의 다양한 응용 분야에 사용할 수있는 매우 정교한 자동 정밀 도금 도구입니다. 2300은 멀티 웨이퍼 플랫폼 (옵션) 과 함께 사용할 경우 최대 4,096 개의 독립 웨이퍼 패턴을 생성할 수 있습니다. 또한 사전 프로그래밍 가능한 레시피와 실시간 프로세스 모니터링을 통한 고급 프로세스 제어, 최대 8 개의 프로세스 스테이션과 최대 8 개의 프로세스 챔버를 지원할 수있는 모듈식 디자인 (modular design) 을 제공합니다. LAM RESEARCH 2300에는 통합 저항 전달 시스템, LGS-AWP (Laser Guided Auto-Wettability Profiling) 및 기타 고급 프로세스 기술이 장착되어 있어 증착 비용을 줄이고 처리 시간을 최소화합니다. 이 기계는 전처리부터 후처리 (post-processing) 에 이르기까지 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기에 걸쳐 높은 반복성과 균일성을 갖춘 완벽한 도금 솔루션을 제공 할 수 있습니다. 고속 열 프로파일은 수동 웨이퍼 마스킹 (manual wafer masking) 을 필요로 하지 않는 반면, 솔리드 스테이트 전원 (solid-state power source) 은 레시피의 뛰어난 출력 안정성과 엄격한 반복 가능성을 제공합니다. 또한 사전 프로그래밍된 레시피 및 실시간 프로세스 모니터링을 통해 2300 은 우수한 프로세스 균일성과 성능을 제공합니다. 고급 정밀 박막 증착 및 처리 요구를 위해 안정적이고 정교한 에칭/애셔 (etching/asher) 옵션입니다.