판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 #293618787

LAM RESEARCH 2300 (LAM RESEARCH 2300) 은 정밀도가 높은 광범위한 재료를 정확하게 에치하거나 애셔링하도록 설계된 전문 에처/애셔입니다. 2300 시리즈는 플라즈마 기반 etch 프로세스를 사용하여 재료 레이어를 원하는 깊이까지 균등하고 효과적으로 제거합니다. LAM RESEARCH 2300 시리즈는 LAM RESEARCH 2300 시리즈의 고급 기능과 정교한 구성 요소로, 운영 정확성과 안정적인 성능을 보장합니다. 2300 시리즈에는 다양한 크기의 기판을 처리하기 위해 2 "또는 4" 열 척이 장착되어 있습니다. 척 (chuck) 은 동적 에치 레시피 (etch recipe) 를 제공하는 고급 제어 장비로 구동되며 다양한 에치 레이트와 깊이 (etch rate and depth) 를 얻을 수 있습니다. 컴퓨터의 사용자 인터페이스는 포괄적이지만 직관적이며, 3.2ghz 프로세서는 고속 처리 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH 2300 시리즈는 다양한 에칭 가스를 사용하여 일관된 결과를 제공하고, 오염을 최소화하고, 기판의 손상을 줄입니다. 2300 시리즈는 또한 특허를받은 IHT (Induction Heating Technology) 를 갖추고 있으며, 이는 기판 표면을 가로 질러 짝수 에치를 보장합니다. 온도 조절 정확도 0.01 ° C로, IHT 시스템은 항복 손실을 최소화하면서 에치 균일 성을 최적화합니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 시리즈에는 얕은 에치 준비를위한 에치 가스 및 이온을 생성하는 ECR (Electron Cyclotron Resonance) 도 제공됩니다. 기계는 다양한 피드 가스 (feed gass) 로 구성하여 최적의 에치 레이트와 깊이를 보장 할 수 있습니다. 안전 및 유지 보수 측면에서, 2300 시리즈는 유해 가스에 대한 노출을 최소화하기 위해 동봉 된 디자인을 가지고 있습니다. LAM RESEARCH 2300 시리즈에는 정적 방지 코팅, 음질 창 및 종합 안전 장치가 장착되어 있습니다. 또한이 시스템에는 강력한 지표 및 보고 기능을 제공하는 포괄적인 MMS (Maintenance Management Machine) 가 있습니다. 전체적으로 2300 시리즈는 정확도, 속도, 효율성을 갖춘 복잡한 에칭 (etching) 어플리케이션을 처리하도록 설계된 고급 에처/애셔입니다. LAM RESEARCH 2300 시리즈는 고급 기능과 정밀 기술을 통해, 고급 에칭 (etching) 어플리케이션의 요구를 충족할 수 있는 안정적인 성능을 제공합니다.