판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys #9240187
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LAM RESEARCH 2300 Versys는 태양 전지의 제조 및 생산에 사용되는 고도의 에처/애셔 (etcher/asher) 장치입니다. 고급 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition) 기술을 사용하여 특정 재료를 선택적으로 제거하고 높은 온도와 높은 수준의 정밀도로 다른 재료를 코팅할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 생산 설정에 사용하도록 설계되었으며, 생산성 향상, 수율 증대를 위해 특허를 받은 기술을 보유하고 있습니다. 고급 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 시스템으로 인해 매우 높은 수준의 정밀도를 제공하여 프로세스를 정확하게 제어하고 반복 할 수 있습니다. 따라서, 광전기 및 기타 박막 응용 프로그램의 정확한 레이어를 만드는 데 사용할 수 있습니다. 2300 Versys (Versys) 는 매우 정밀하고 정확한 포지셔닝 장비를 갖추고 있어 수직/수평 방향으로 모두 뛰어난 반복성을 제공합니다. 또한 사용자 친화적 인 제어 시스템 (control system) 을 갖추고 있어 작동이 용이하며, 프로세스를 원활하고 효율적으로 실행할 수 있도록 고급 모니터링 시스템 (monitoring system) 을 갖추고 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다양한 에칭 및 애싱 프로세스로 구성 될 수 있으며, 직경 1000 밀리미터의 최대 챔버 크기를 가지므로, 더 큰 태양 전지와 다른 유형의 대형 박막 응용 프로그램에 적합합니다. 또한, 자체 포함 냉각 장치 (Self-Contained Cooling Unit) 로 설계되었으며, 필요한 경우 외부 냉각기에 연결할 수 있지만 재료 온도를 점검하는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH 2300 Versys는 최고 2800 W의 전력 등급으로 작동하여 극히 빠른 속도로, 극도로 정밀하게 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한, 고급 PECVD 기술을 사용하면 기존 PECVD 기술에서 달성 한 것보다 3 배 빠른 속도로 기판에 고품질 코팅을 배치 할 수 있습니다. 따라서, 이 고도로 발전된 에칭/애싱 장치는 태양 전지의 제조 및 생산, 기타 다양한 박막 응용 프로그램 (Thin-film Application) 에 사용하기에 이상적입니다. 매우 정확하고 제어 된 프로세스를 통해 사용자는 매우 효율적인 방법으로 균일하고 고품질 코팅 (coating) 을 만들 수 있습니다.
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