판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys #9036038

LAM RESEARCH 2300 Versys는 고급 장치 기술을 위한 고급 처리 기능을 제공하는 혁신적인 에처 (etcher) 및 애셔입니다. 버시스 (Versys) 플랫폼은 확장성을 위해 설계되었으며, 제조업체는 기술 발전과 새로운 장치 노드가 개발됨에 따라 운영 용량을 업그레이드할 수 있습니다. 완전히 새로운 2300 버시 (Versys) 에는 고급 기판 전송 로봇이 장착되어 있으며 다양한 에칭 및 애싱 (ashing) 프로세스가 가능합니다. 최대 용량은 300mm 웨이퍼 5 개이며 프로세스 시간은 최대 300 초입니다. 또한 최첨단 고해상도 폐쇄 루프 (closed-loop) 로컬 영역 스캐너 (local area scanner) 를 통해 모든 에칭 및 애싱 작업에 대한 최고의 정확성과 정밀도를 제공합니다. 고급 LAM RESEARCH 2300 Versys는 에칭, 애싱 및 cryo-etching 프로세스를 처리 할 수 있습니다. "에칭 '과" 애싱' 과정 은 재료 층 을 제거 하여 기판 에 설계 된 "패턴 '을 만든다. 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 은 fab 프로세스에서 금속 선, 트랜지스터, 커패시터와 같은 다양한 크기와 모양의 피쳐를 패턴화하는 데 사용됩니다. 2300 Versys는 cryo-etching도 가능합니다. 이 과정에서, 극단적 인 추위는 원치 않는 물질을 탈피하는 데 사용됩니다. 이 콜드 에칭 프로세스는 110nm 이하 (극도의 정밀도가 필요한 경우) 와 같은 기술에 필수적입니다. 또한 LAM RESEARCH 2300 Versys 는 프로세스 시간을 줄이고 프로세스 분배를 최적화하는 고급 기술로 인해 탁월한 가동 시간과 생산성을 보장합니다. Versys 시스템은 SiO2 및 SiN과 같은 기계 이완에서 보다 단단한 기계 재료, 금속까지 다양한 재료와 호환됩니다. 이를 통해 2300 Versys는 다양한 응용 프로그램 시나리오에 적합합니다. 칩 디자이너의 관점에서, 버시스 (Versys) 아키텍처는 엄청난 양의 유연성을 가능하게하며, 맞춤형 레시피를 추가하여 더 많은 맞춤형 패턴을 생산할 수 있습니다. 더우기, 이 "시스템 '은 미래 의 기술 을 처리 할 수 있을 만큼 융통성 이 있으면서도 탁월 한 결과 를 가져왔다는 증거 가 있다. LAM RESEARCH 2300 Versys는 하이엔드 프로세스, 확장성, 최고의 정확성 및 정확성을 제공하는 우수하고 고급 어처 (etcher and asher) 입니다. 최신 기술을 다루고, 최고의 생산성과 품질을 보장하고자 하는 기업을 위한 완벽한 시스템입니다 (영문).