판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys #9033337

LAM RESEARCH 2300 Versys는 집적 회로 장치를 만드는 데 사용되는 고급 에칭/애싱 장비입니다. 대류 (convection), 열 (thermal) 및 플라즈마 (plasma) 기술을 결합하여 사용자가 asher 프로세스에서 탁월한 성능을 얻을 수 있도록 하여 주기 단축, 생산성 향상 및 프로세스 윈도우 개선이 가능합니다. 이 도구는 현재 세계 최고의 IC (Integrated Circuit) 제조 시설에서 사용되고 있습니다. Versys의 견고한 디자인에는 독특한 챔버 (chamber) 및 플랫폼 냉각 시스템이 포함되어 있으며, 뛰어난 온도 균형 및 뛰어난 에칭/애싱 안정성을 제공합니다. 단일 드라이브 전송 장치 (Single-Drive Transfer Unit) 를 통해 빠르고 유연한 응답이 가능하며, 신뢰성 있는 프로세스를 보장하는 고급 자동 로딩 장치를 제공합니다. Versys는 여러 기판 크기를 처리 할 수 있으며 DRIE, Plasma Enhanced CVD (PECVD), 스퍼터 및 Etch-Then-Clean (ETC) 프로세스에서 다양한 에치/애쉬 솔루션을 제공합니다. 또한 ITP (Integrated Thermal Processing) 기술은 기판 손상 및 에치 사이클 시간을 최소화하고 "터치리스 (touchless)" ITP는 처리 실의 온도 유지 관리를 가능하게합니다. 이 기계에는 2 단계 사이클론 스크러버 (cyclonic scrubber) 가 포함되어 있으며, 추가 서브시스템의 필요성을 제거하고 최적의 프로세스 제어를 보장합니다. 또한, 버시 (Versys) 에는 단일 레벨 보트와 이중 레벨 보트가 있으며, 동일한 기판 크기 내에서 작고 큰 기판을 모두 수용 할 수 있습니다. 2300 Versys는 고성능 에칭/애싱 솔루션을 원하는 사용자에게 적합한 선택입니다. 첨단 기술, 견고한 설계, 다양한 프로세스 옵션을 갖춘 통합 회로 (Integrated Circuit) 제작에 적극 권장됩니다. 고급 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 공정 기능, 우수한 온도 균형, 정확한 기판 크기 처리 기능을 통해 오늘날 시장에서 가장 효과적이고 신뢰할 수있는 에칭/애싱 시스템 중 하나입니다.