판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9296974

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo는 다양한 재료의 고급, 자동 처리를 위해 설계된 고성능, 정밀 에칭 및 애싱 장비입니다. 이 시스템은 산업 및 R&D 응용 분야에 이상적이며, 반도체 등급에서 고온 응용 분야에 이르기까지 기판에서 제어 된 에칭 및 애싱 작업을 제공합니다. 이 일괄 처리 장치는 세계 수준의 생산성, 반복성, 처리량을 제공하며, 다양한 화학 솔루션과 호환됩니다. 이 기계는 에치 및 애쉬 메탈리제이션을위한 공정 챔버 (process chamber) 를 특징으로하며, 최대 6 "x 8" 의 가변 기판 크기를 제공하여 더 큰 기판과 더 엄격한 공정 시간을 수용 할 수 있습니다. 또한 고급 온도/압력 제어 (Advanced Temperature and Pressure Control) 를 통해 정밀한 처리와 유연한 제작 기능을 위한 다중 처리 레시피를 제공합니다. 버시스 키요 (Versys Kiyo) 에는 고정밀 처리 및 제어 기능을 제공하도록 설계된 고급 에치 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 자동 에치 정밀도 (Auto-Etch Precision) 제어 기능은 자동으로 최고의 에치 시작 시간을 결정하므로 에치 일관성과 반복성이 향상됩니다. 또한 정교한 프로세스 흐름 제어 (flow-control) 를 제공하여 솔루션 온도, 가스 흐름 속도, 압력, 기타 중요한 매개변수를 정확하게 관리할 수 있습니다. 이 도구는 독립형 및 PC 기반 작동을 위한 고자동 컨트롤러도 갖추고 있습니다. 지능형 자동화는 직관적인 작동을 가능하게하며 배기 가스 감지 시스템은 고급 안전 보호 기능을 제공합니다. 또한, Versys Kiyo에는 다양한 금속이있는 기판의 구리 및 금속 층을 에칭 할 수있는 MLE (Multi-Layer Etch) 전원 모듈이 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 복잡한 전기 구조를 높은 정밀도로 에칭할 수 있습니다. 2300 Versys Kiyo (Versys Kiyo) 는 견고하고 효율성이 높은 에칭 앤 애싱 (eching and ashing) 자산으로, 가장 까다로운 어플리케이션의 요구를 충족할 수 있는 뛰어난 성능과 유연성을 제공합니다. 버시스 키요 (Versys Kiyo) 는 고급 프로세스 제어, 내장 안전 기능, 유연한 제작 기능을 통해 광범위한 산업 및 R&D 제조 어플리케이션에 일관되고 안정적인 운영을 제공할 것입니다.