판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9240730

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo는 다양한 응용 분야에 적합한 고급 etcher/asher입니다. 고성능 가스 (gas) 전달 및 제어, 견고한 기계적 설계, 직관적인 사용자 인터페이스 도구를 결합하여 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 위한 강력한 솔루션을 제공합니다. 에처로서 2300 Versys Kiyo는 최대 50 가지 에치 레시피를 갖춘 정밀 에칭 기능을 제공합니다. 이 기계는 또한 8 인치 또는 12 인치 웨이퍼를 수용 할 수있는 최대 300 개의 웨이퍼 위치를 허용합니다. 각 에치 레시피는 기판 모양, 음영, 에치 깊이와 같은 최적화 된 매개변수로 프로그래밍됩니다. LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo는 에칭 응용 프로그램을위한 효율적인 프로세스 도구로 설계되었습니다. 공정 챔버의 최대 용량은 6 리터이며, 한 번에 최대 6 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 레티클 동안 이미지 오버레이를 위한 자동 초점 기능이 있는 웨이퍼 직접 보기 (wafer direct-view) 정렬 장비가 포함되어 있어 제작 시간이 단축됩니다. 또한이 도구에는 고급 에칭 프로세스에 필요한 가스 혼합물을 정확하게 제어하는 가스 혼합 시스템 (Gas Mixing System) 이 포함됩니다. 이 가스 믹싱 장치 (gas mixing unit) 는 완전히 자동 가스 소스 선택 및 제어를 통해 사용자가 신속하게 프로세스를 프로그래밍하고 최적화할 수 있도록 합니다. 2300 Versys Kiyo는 또한 안전한 작동을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. 이 도구에는 터보 분자 펌프와 이온-게터 2 차 펌프가 모두 포함 된 이중 단계 진공기가 장착되어 있습니다. 이것은 챔버가 작동 중 안전한 진공 수준을 유지하도록 보장합니다. 그 기계 는 또한 "챔버 '에 불안 한 산소 의 축적 이 있을 경우" 오퍼레이터' 에게 경고 를 주는 산소 경보 도구 를 갖추고 있다. 전반적으로 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo는 신뢰할 수 있고 강력한 etcher/asher로 다양한 에칭 응용 프로그램에 대한 정확한 결과를 제공합니다. 사용자 친화적 인 인터페이스, 고급 가스 제어 (gas control) 및 안전 (safety) 기능을 통해 생산 수준의 에칭 및 애싱 프로세스에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다. 견고한 기계적 설계와 정확한 가스 전달 자산을 갖춘 2300 버시스 키요 (Versys Kiyo) 는 다양한 기판의 에칭 및 재싱을위한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다.