판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9137280

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo는 고급 패키징 및 MEMS 장치 제조에서 SOI 기판 제조에 이르는 응용 분야에 이상적인 첨단 기술 에처/애셔입니다. 이 강력한 도구는 습식, 건식, 플라즈마 공정을 에치 (etch) 할 수 있으므로 다양한 장치에 다용도 옵션이 될 수 있습니다. 에칭 프로파일을 정확하게 제어하기위한 3 차원 전자석을 특징으로하며, 이는 중요한 에칭 프로세스에 이상적입니다. 또한, 이 도구에는 고속, 저온 에칭 공정이 가능한 cryogen-free 및 vertical chiller 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 고효율 필터 장치 (filter unit) 로 설계되어 깨끗하고 오염 없는 에칭 환경을 제공합니다. 이 도구는 갈륨 비소, 실리콘, 고귀한 금속 등을 포함한 다양한 재료와 기질을 에치 할 수 있습니다. 그것 은 깊이 20 내지 1,000 "밀링 '의" 아아크' 에 이르는 매우 정밀 한 물질 을 가져올 수 있다. 또한 2 단계 가스 전달 머신이 장착되어 다양한 에치 화학 물질 (etch chemistry) 과 반응성 가스 (reactive gase) 가 가능합니다. 이 도구는 또한 고밀도 스텝 모터 (high-precision step motor) 와 디지털 패턴 생성기 (digital pattern generator) 를 갖추고 있으며 사용자가 요구하는 모든 에칭 패턴을 제작할 수 있습니다. 또한 1D 선, 2D 원, 3D 다각도 및 4D 복합 모양을 가져올 수 있습니다. 또한, 레이저 정렬 에셋이 도구에 포함되어 있어, 극도의 정확성을 확보할 수 있습니다. 또한 2300 Versys Kiyo는 고급 샘플 처리 기능이있는 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 로 설계되었습니다. 이 모델은 고효율 벌크-에치 (bulk-etch) 구성으로 설계되어 보다 빠르고 효율적인 프로세스를 지원합니다. 마지막으로, 이 도구는 또한 포괄적인 모니터링 장비를 갖추고 있으며, 여러 표준 도금 프로토콜을 준수하므로 다양한 에칭 (etching) 어플리케이션에 적합합니다.