판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9378309

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45는 웨이퍼에서 재료 층 제거와 관련된 마이크로 일렉트로닉 및 포토 리토 그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 etcher/asher입니다. Versys Kiyo 45는 LAM RESEARCH의 클래식 Versys Kiyo 시리즈 업데이트로, 향상된 성능, 신뢰성 및 사용 편의성을 제공합니다. Versys Kiyo 45의 온도 범위는 450 ° C이며, 더 높은 온도와 더 효율적인 복잡한 패턴 에칭이 가능합니다. 1KW 오존/RF 전원 공급 장치는 정밀 에칭이 가능하며 기질 열 균일성을 희생하지 않고 우수한 온도 균일성을 제공합니다. 특허를받은 Free Space Ozone 레이저는 웨이퍼 표면을 가로 질러 균일 한 빔을 제공하여 최소 하드웨어 복잡성으로 정확한 에칭을 허용합니다. Versys Kiyo 45의 사용자 친화적 인 디자인에는 직관적 인 터치 스크린 컨트롤 (touchscreen control) 과 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링하는 대형 디스플레이가 포함됩니다. 순차 및 동시 에칭을 포함한 다양한 사이클 프로그램을 사용할 수 있습니다. Versys Kiyo 45에는 에치 프로세스 실행을 최적화하고 드리프트를 최소화하도록 설계된 내구성 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 가 있습니다. 고품질 오존 (Ozone) 전달 튜브는 고화질 에치 패턴을 보장하여 불균일 한 결과의 잠재적 위험을 줄이고 제품 사이클 시간을 줄입니다. 버시스 키요 45 (Versys Kiyo 45) 는 기판의 표면 특성에 관계없이 에치 깊이의 균일성을 보장하는 자동 조정 노즐을 특징으로합니다. 버시스 키요 45 (Versys Kiyo 45) 는 2 단계 필터 장비를 포함하여 다양한 고유 한 기능을 제공하여 오염을 줄이고 사용자 안전을 보장합니다. 버시스 키요 45 (Versys Kiyo 45) 는 또한 외부 전기장에서 공정 챔버를 보호하는 자기 차폐를 갖춘 클린 룸 지원 디자인을 제공합니다. 버시스 키요 45 (Versys Kiyo 45) 는 또한 수동 작업의 필요성을 제거하고 운영자 오류의 위험을 최소화하는 혁신적인 웨이퍼 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 요약하면, LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45는 마이크로 일렉트로닉 및 사진 해설을 위해 설계된 고급 에처/애셔입니다. Versys Kiyo 45는 온도 범위 450 ° C, 1KW Ozone/RF 전원 공급 장치, Free Space Ozone 레이저, 직관적인 터치 스크린 컨트롤 및 종합적인 사이클 프로그램을 통해 향상된 성능, 안정성 및 사용 편의성을 제공합니다. Versys Kiyo 45에는 내구성 스테인리스 스틸 챔버, 2 단계 필터 유닛, 자동 조정 노즐, 자기 차폐가있는 클린 룸 지원 디자인 및 혁신적인 웨이퍼 배달기가 있습니다.