판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45 #9260518

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45
ID: 9260518
Poly etcher (3) Chambers.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo 45는 중간 크기의 에처 (asher라고도 함) 입니다. 첨단 기능과 최첨단 기술 기능으로, 정밀 반도체 제작을 위한 강력한 도구입니다. 에처는 45 플라즈마의 소스 챔버로 제작되었으며 Faceplate, Cooling/Interlock/Sorce Plate Set 및 2 개의 별도의 전기 자기 코일 어셈블리 (배기 연소 챔버의 1 차 소스 자석 및 입력 챔버의 2 차 소스 자석) 로 구성됩니다. 이 구조는 에처 (etcher) 가 플라즈마 공정에서 높은 수준의 균일 성을 유지하고 반복 성을 극대화 할 수 있도록 보장합니다. 멀티 존 가스 전달 시스템 (multi-zone gas delivery system) 과 가스 제어 장치 (gas control unit) 가 장착 된 Etcher는 여러 가지 가스 흐름을 제공 할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 가스 설정으로 etch 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 에처는 또한 고성능 가스 리프트 노즐 (gas lift nozzle) 을 특징으로하며, 다양한 크기와 에칭 된 입자의 모양을 조정하여 레이어에서 레이어까지 일관된 에치 모양을 만들 수 있습니다. 이 에처 (Etcher) 에는 장기 사용 기간 동안 잔류 (Residue) 없이 깨끗한 작업 환경을 보장하는 자동 클리닝 (Auto-Cleaning) 기능이 추가로 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 수동 클리닝 주기 (manual cleaning cycle) 의 수를 줄여주고, 사용자에게 깨끗하고 안전한 환경을 유지하는 데 도움이 됩니다. LAM RESEARCH 2300 VERSYS KIYO45 etcher는 작동하기 쉽고, 사용자가 프로세스 매개 변수를 제어하고, 프로세스를 모니터링하고, 문제를 해결할 수 있는 대화식 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 제공됩니다. 고급 기능 덕분에 2300 Versys Kiyo 45는 효율적이고 안정적인 에칭 프로세스를 제공합니다. 정확성과 반복성은 반도체 제작에서 필수 도구가됩니다.
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