판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 V2 #293595429

LAM RESEARCH 2300 V2 Asher는 특정 재료의 드라이 에칭을 위해 설계된 완전 자동화 된 높은 정확도 에처/애셔입니다. 장치 제조, 반도체 장치 처리, MEMS 생산, 회로 기판 제작 및 기타 대량 생산 프로세스와 같은 응용 분야에 이상적입니다. 에치 깊이가 최대 300 äm에 도달 할 수 있으며, 에칭 정확도는 ± 0.05äm이며, 최대 3000 ° F (1650 ° C) 의 다양한 온도에서 작동 할 수 있습니다. 2300 V2 Asher (V2 Asher) 는 블로우 백 재순환 웨이퍼 카세트 드라이브 장비와 진공 시스템을 갖춘 폐쇄 루프 프로세스 챔버 (closed-loop process chamber) 를 포함하는 정교한 컨트롤러에 의해 구동됩니다. 공정 챔버에는 2 개의 독립적 인 에칭 시스템이 포함되어 있습니다. 첫 번째는 기판을 에칭하는 데, 두 번째는 백사이드 에칭입니다. 또한 오버 헤드 로봇 로케이터 및 자동 초점 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 웨이퍼 카세트 드라이브 (wafer cassette drive unit) 는 향상된 처리량을 위해 웨이퍼를 효율적으로 로드/언로드할 수 있습니다. LAM RESEARCH 2300 V2에는 긴급 정지 버튼 (Emergency Stop Button), 연동 보호 (Interlock Protection), 연마 감지 및 여과기, 유해 가스 및 에어로졸이 공정 챔버를 탈출하지 못하도록 강제 공기 제거와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 etcher의 안정적이고 안전한 작동을 보장합니다. 2300 V2는 프로세스 제어 및 소프트웨어가 통합된 완벽한 에칭 솔루션을 제공합니다. 여기에는 필요에 따라 프로그래밍, 모니터링, 조정할 수 있는 강력한 프로세스 도구 및 매개변수 제어 (parameter control) 세트가 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 최고의 정확성과 추적 능력으로 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 이 툴은 또한 오픈 소스 스크립팅 언어 (open-source scripting language) 를 통해 다양한 사용자 지정 스크립팅을 수용할 수 있도록 설계되었으며, 이를 통해 자산을 특정 요구 사항에 맞게 수정할 수 있습니다. 결론적으로 LAM RESEARCH 2300 V2는 광범위한 기능과 기능을 갖춘 고급 자동 etcher/asher입니다. 고급 프로세스 제어 (process control) 및 안전 기능 (safety) 과 오픈 소스 스크립팅 언어 (open-source scripting language) 는 안정적이고 정확한 작동을 보장합니다. 온도, 에칭 정확도, 처리량을 통해 대량 생산 및 기타 고정밀 제작 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다.