판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Metal #9314599

LAM RESEARCH 2300 Metal은 다양한 금속 및 기타 반도체 재료를 에칭 및 재싱하도록 설계된 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 이것은 3 개의 플라즈마 챔버, 2 개의 에치 챔버 및 1 개의 애셔가있는 멀티 챔버 디자인의 도움으로 달성됩니다. 일관성 있는 금속 에칭 (etching) 및 재싱 (ashing) 을 위한 신뢰성이 높은 프로세스 솔루션으로 반복 가능한 결과를 제공합니다. 에치 챔버는 질소, 수소, 산소 기반, 염소 기반 가스와 같은 다양한 에치 가스 선호를 사용하여 다양한 금속을 에칭 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 사용자 인터페이스 (user-friendly user interface) 의 도움으로 쉽게 실행할 수 있는 수많은 프로세스 레시피가 포함되어 있습니다. LAM RESEARCH는 또한 효율적이고 균일 한 에칭 및 애싱을 보장하기 위해 통합 된 멀티 챔버 구성을 제공합니다. "애셔 '는 금, 구리," 알루미늄' 및 "티타늄 '을 포함 하여 여러 가지 금속 으로 만든 기질 을 분쇄 할 수 있다. 또한, 수동층, 유전체 및 폴리 실리콘 (polysilicon) 과 같은 비금속화 된 기질의 넓은 분류를 재시 할 수도 있습니다. 애셔는 1% 이상의 공정 반복 능력을 가진 1 ~ 5 미크론의 창피 깊이를 특징으로합니다. 2300 Metal에는 배기 안전 탐사선 (Exhaust Safety Probe), 통합 틸트 안전 모니터 (Integrated Tilt Safety Monitor) 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 배기 안전 프로브 (Exhaust Safety Probe) 는 확장 작동을 위해 챔버에서 발생하는 압력을 모니터링하도록 설계되었습니다. 내장형 기울기 안전 모니터 (Integrated Tilt Safety Monitor) 는 과도한 기간 동안 에칭 (Etching) 또는 애싱 (Ashing) 을 방지하기 위해 챔버를 올바르게 정렬하여 기판의 손상을 방지하는 데 사용됩니다. 또한, 그래픽 사용자 인터페이스를 갖춘 고성능 자동 컨트롤러 (Automated Controller) 를 통해 에치 (Etch) 및 애싱 (Ashing) 프로세스를 포괄적으로 제어할 수 있습니다. 통합 사용자 인터페이스 (Integrated User Interface) 는 사용자가 신속하게 공구를 프로그래밍하고, Etch 및 Ashing 프로세스를 모니터링하고, Chamber 매개 변수 설정을 변경/수정/읽을 수 있는 기능을 제공합니다. 또한 컨트롤러는 다른 에칭 시스템 및 자동화 제어 시스템과의 손쉬운 통합을 위해 설계되었습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH 2300 Metal은 금속 에칭 및 재싱에 적합한 선택입니다. 기판에 대한 최소한의 손상으로 최고 수준의 정밀도, 정확도, 신뢰성을 제공합니다. 또한 안정적이고 효율적인 고객 서비스 (Customer Service) 를 통해 간편한 설치 및 확장 작업을 수행할 수 있습니다.