판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Metal 45 #293821877
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LAM RESEARCH 2300 Metal 45는 오늘날의 반도체 포장 산업의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 asher/etcher입니다. 이 장비는 Langmuir-Blodgett 필름 형성 프로세스를 통해 고성능 저온 증기 에칭 기능을 제공합니다. 이 시스템은 금속 또는 산화물 필름 (oxide film) 을 정확한 두께에 배치하여 우수한 에칭 성능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 고정밀 패턴화를 제공하고, 고급 스태킹 및 하이브리드 어셈블리를위한 구멍 형성을 통해 구성 될 수있다. 2300 Metal 45는 처리 챔버, 쉽게 액세스 할 수있는 컨트롤러 및 일련의 프로세스 헤드로 구성됩니다. 기계 의 심장 은 가공실 로서 "아르곤 ', 질소, 산소 및 기타" 에치' "가스 '의 여러 가지 혼합물 을 전달 할 수 있는" 가스' 소개 와 선 "밸브 '를 입는다. 전자 빔 소스 (e-beam source) 는 챔버 내부의 대상 물질로 향하는 가스를 이온화 할 수있다. 공정 헤드 (process head) 는 다양한 응용 프로그램에 대해 특별히 설계된 마스크 및 매개변수를 사용하여 균일 한 에치를 제공하도록 정확하게 조정할 수 있습니다. 컨트롤러는 직관적인 사용자 인터페이스를 위해 설계되었으며, 모든 진단 및 안전 (Safety) 기능을 제공합니다. LAM RESEARCH 2300 Metal 45는 열에너지 요구량이 적고 웨이퍼에 마모가 많지 않은 금속 및 산화물 필름의 정밀하고 반복 가능한 에칭 성능을 최대 1/1 인치 (1 미크론) 까지 허용합니다. 이 고급 에처/애셔 (etcher/asher) 는 업계 및 고객별 요구 사항을 충족하도록 맞춤형으로 구성할 수 있으며, 반도체 제조업체가 귀중한 시간과 비용을 절감하는 동시에 탁월한 에칭 성능을 제공합니다. 이 공구는 여러 층의 재료 증착에 대한 온도, 압력, 자외선 (UV radiation) 과 같은 처리 매개변수를 제어하는 데 탁월한 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 전체적으로 2300 Metal 45는 반도체 포장 산업에 탁월한 에칭 성능과 정밀도를 제공하도록 설계된 최첨단 에처/애셔 (etcher/asher) 입니다. 고급 기능과 사용자 지정 가능한 구성 (Customizable Configuration) 을 통해 어플리케이션에 적합한 고성능, 반복 가능한 결과를 원하는 제조업체에 적합한 툴입니다.
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