판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293829181

LAM RESEARCH 2300 Kiyo는 LAM RESEARCH Corporation의 혁신적인 에치 앤 애셔 (etch and asher) 장비로, 장치 기능의 안정적이고 반복 가능하며 효율적인 처리를 제공하도록 설계되었습니다. AEAS (Advanced Etch and Ash System) 와 HEAS (High Etch and Ash Unit) 의 두 가지 고급 상류 및 하류 에칭 시스템이 있습니다. 온보드 AI 기반 고급 레시피는 실리콘 구조가 손상되지 않고 우수한 장치 구조를 달성하기 위해 에치 (etch) 와 애쉬 (ash) 공정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. AEAS 머신 (AEAS machine) 은 초고속으로 디바이스 아키텍처를 신속하게 에칭하고, 각 다이에 대해 프로세스 매개변수를 사용자 정의하는 기능을 제공합니다. 이를 통해 도구는 뛰어난 반복성으로 놀라운 수율을 달성 할 수 있습니다. HEAS 에셋은 Deep Etch 및 Shallow Etch 요구 사항을 모두 수용하고 뛰어난 기능 충실도를 유지할 수있는 유연성을 제공합니다. 2300 키요 (Kiyo) 는 또한 다이 레벨에서 기능을 정확하게 모니터링 할 수있는 고해상도 이미징 모델을 갖추고 있습니다. 이를 통해 자동 검사 및 자동 보상 (auto-compensation) 기능과 결합하여 정확하고 반복 가능한 장치 구조를 실행할 수 있습니다. 또한, 고급 모니터링 기능 (advanced monitoring function) 은 프로세스 제어 매개변수를 파악하고 프로세스 드리프트 시 원격 조정을 허용합니다. LAM RESEARCH 2300 Kiyo는 에칭 (etching) 및 금속 증착 단계를 분리하여 더 높은 장치 생산량, 검사 시간 감소, 뛰어난 공정 후 성능을 제공합니다. 이 장비의 최첨단 균일 성 (edge-to-edge unifority) 기능은 단단한 공차 내에서 균일 한 필름 증착을 보장하여 고품질 기능 구조를 생성합니다. 또한 시스템은 완전한 도량형 기능을 제공합니다. 자동 보상 기능을 통해 다이 (die) 특성을 신속하게 측정할 수 있으며, 이를 통해 더 큰 제어 및 향상된 수율을 얻을 수 있습니다. 이 장치는 에너지 사용량을 최소화하면서 탁월한 안정성과 가용성을 제공하므로, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 이상적인 비용 효율적인 솔루션입니다. 2300 키요 (Kiyo) 는 고성능 (High Performance) 과 반복 (Repeatability) 의 조합으로, 최첨단 에치 및 애셔 머신으로, 생산성의 새로운 표준을 설정해야합니다.