판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293775899

LAM RESEARCH 2300 키요 (Kiyo) 는 자동 에치/애쉬 (etch/ash) 장비이며 습식 및 건식 공정 기능을 모두 갖춘 단일 도구에서 여러 웨이퍼에서 에치 및 애쉬 프로세스를 모두 수행하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 안정적이고 효율적이며 비용 효율적입니다. 키요 (Kiyo) 는 여러 웨이퍼를위한 자동 웨이퍼 운송, 웨이퍼 처리 및 웨이퍼 냉각 기능을 갖추고 있습니다. 여기에는 자체 포함 된 공정 챔버가 포함되어 있으며, 견고한 작동을 보장하기 위해 견고한 부식 내성 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 챔버 (chamber) 는 모든 웨이퍼에 균일 한 열 및 공정 조건을 제공하여 일관된 에치 (etch) 또는 애싱 (ashing) 성능을 제공합니다. 이 장치에는 균일성을 극대화하고 프로세스 재료의 재배치를 최소화하는 쿼츠 에지 링 (Quartz Edge Ring) 도 장착되어 있습니다. 키요 (Kiyo) 는 2-8 인치 웨이퍼 직경의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 텅스텐 (Tungsten) 과 폴리실리콘 (Polysilicon) 과 같은 고밀도 재료를 에칭 및 해시 할 수 있으며, 이는 높은 종횡비 벽과 비아를 포함한 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 기계는 또한 0.1 미크론에서 0.5 미크론 사이의 작은 통로, 포함 및 기타 높은 종횡비 기능을 처리 할 수 있습니다. Kiyo는 반복 가능하고 정확한 에칭 및 애싱 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 고속, 정밀 튜닝 된 대량 흐름 컨트롤러, 실시간 데이터 로깅 기능을 갖춘 디지털 프로세스 컨트롤러 (Digital Process Controller) 가 장착되어 있습니다. 이 툴은 여러 웨이퍼를 동시에 에칭 (etching) 및 재싱 (ashing) 할 수 있어 처리 속도가 매우 빠릅니다. 가변 속도 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위해 프로세스 가스의 신뢰할 수 있고, 조절 가능하며 온도를 제어합니다. Kiyo에는 웨이퍼 로딩 및 언로드를위한 2 단계 진공 자산이 장착되어 있습니다. 또한 오존이없는 층류 흐름을 사용하여 심층 청소를 수행하는 자동 웨이퍼 클리닝 모델이 있습니다. 이 장비에는 온라인 웨이퍼 도량형 시스템 (Online Wafer Metrology System) 도 포함되어 있어 에치 (etched) 및 애쉬 (ashed) 기능의 정확성과 반복성을 보장합니다. 전체적으로 2300 Kiyo etch/ash 장치는 효율적이고 비용 효율적인 기계로, 고품질 에칭 및 애싱 성능을 제공합니다.