판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634890

LAM RESEARCH 2300 Kiyo는 반도체 처리에 사용되는 고도의 에처/애셔입니다. 에칭 기능과 애싱 기능을 모두 제공하는 단일 챔버 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 결과를 개선하기 위해 고급 기술 및 성능 속성을 사용하여 설계되었습니다. 2300 Kiyo는 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스 (Touchscreen Interface) 와 잘 구성된 설정 옵션을 통해 매우 쉽게 사용 및 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH 2300 Kiyo는 집적 회로 제작 및 비휘발성 메모리 제작을 포함한 여러 응용 분야에서 높은 수준의 기능을 갖추고 있습니다. 이 장치는 GIS (Gas Injection Unit) 및 GDS (Multi-Stream Gas Distribution Machine) 를 사용하여 최적의 프로세스 제어를 보장합니다. 지스 (GIS) 는 매우 정확하고 반복 가능한 흐름 제어가 가능하며, GDS는 여러 독립 에처 레시피를 동시에 실행할 수 있습니다. 또한, 이 툴에는 다양한 프로세스 (원격 엔드 포인트 튜닝, 유연한 레시피) 에 적합한 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 에칭 에셋은 또한 고속 스캐너, 회전 가능한 샘플 홀더, 정렬 모델 등 다양한 인덱서 제어 하드웨어 옵션을 제공합니다. 따라서 수작업으로 정렬할 필요 없이 매우 복잡한 구조를 제작할 수 있습니다 (영문). 이 장비는 최대 200 ° C의 온도에서 작동 할 수 있으며, 다양한 에치 (etch) 공정으로 유전체 및 전도성 재료를 모두 처리 할 수 있습니다. 또한 2300 Kiyo는 프로세스 종료 폐기물 복구 시스템 (End-of-process Waste Recover System) 및 흐름 진공 격리 시스템 (Flow-Vacuum Containment System) 을 포함한 다양한 안전 및 환경 보호 기능을 제공합니다. 직관적인 HMI를 사용하면 모든 프로세스 매개변수 및 반응 속도를 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 LAM RESEARCH 2300 Kiyo는 반도체 제조를 위한 매우 효과적이고, 효율적이며, 신뢰할 수있는 도구입니다.